[发明专利]投射曝光系统的照明光学单元

权利要求书

1.一种将照明辐射(5)引导至物场(11_i)的投射曝光系统(1)的照明光学单元(17_i)，包含：

1.1.多个辐射反射组件，

1.2.其中所有辐射反射组件布置为使得在这些组件处以相同方式偏转具有照明辐射(5)的光束(10_i)，

其中所有所述辐射反射组件布置为使得具有所述照明辐射(5)的光束(16_i)分别具有入射角(α_i)，其在所述辐射反射组件的每一个处不超过25°，

其中所述具有照明辐射(5)的光束(10_i)在所述辐射反射组件的每一个处偏转一偏转角度，任两个偏转角度之间的比不超过1.5，以及

其中所述辐射反射组件包含第一分面镜(28_i)、第二分面镜(29_i)和至少一个其它反射镜(37_i)，所述至少一个其它反射镜布置在光束路径中所述第二分面镜(29_i)的下游或所述第一分面镜(28_i)的上游。

2.一种将照明辐射(5)引导至物场(11_i)的投射曝光系统(1)的照明光学单元(17_i)，包含：

2.1.多个辐射反射组件，

2.2.其中所有辐射反射组件布置为使得在这些组件处以相同方式偏转具有照明辐射(5)的光束(10_i)，

其中所有所述辐射反射组件布置为使得具有所述照明辐射(5)的光束(16_i)分别具有入射角(α_i)，其在所述辐射反射组件的每一个处不超过25°，

其中所述辐射反射组件导致所述具有照明辐射(5)的光束的总偏转在从45°至135°的范围中，以及

其中所述辐射反射组件包含第一分面镜(28_i)、第二分面镜(29_i)和至少一个其它反射镜(37_i)，所述至少一个其它反射镜布置在光束路径中所述第二分面镜(29_i)的下游或所述第一分面镜(28_i)的上游。

3.如权利要求1或2所述的照明光学单元(17_i)，其特征在于所述辐射反射组件在光束路径的方向上，包含第一分面镜(28_i)和第二分面镜(29_i)以及精确的一个其它反射镜(37_i)，所述其它反射镜布置在该第二分面镜(29_i)与该物场(11_i)之间的光束路径中，或在该第一分面镜(28_i)之前的光束路径中。

4.如权利要求1或2所述的照明光学单元(17_i)，其特征在于所述辐射反射组件之一将所述辐射反射组件中的另一个成像至下游的投射光学单元(14_i)中的光瞳平面(40)中。

5.如权利要求1或2所述的照明光学单元(17_i)，其特征在于在所述照明辐射(5)的光束路径中的所述辐射反射组件中的第一个实施为分面镜(28_i)，其具有可切换分面(30)。

6.如权利要求1或2所述的照明光学单元(17_i)，其特征在于所述光束路径中所述辐射反射组件的前两个布置为彼此相距一距离(d1)，该距离小于该光束路径中所述辐射反射组件中第二个和第三个之间的距离(d2)。