[发明专利]半导体模块有效
申请号: | 201580049069.6 | 申请日: | 2015-09-02 |
公开(公告)号: | CN107078128B | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 泽田研一 | 申请(专利权)人: | 住友电气工业株式会社 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/48;H01L25/18 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 韩峰;孙志湧 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 模块 | ||
1.一种半导体模块,所述半导体模块包括:
衬底,在所述衬底上,第一布线图案、第二布线图案和第三布线图案被形成在主表面上;
多个纵向型第一晶体管芯片,所述第一晶体管芯片被安装在所述衬底上;以及
多个纵向型第二晶体管芯片,所述第二晶体管芯片被安装在所述衬底上,
其中,
所述第一晶体管芯片具有:
第一主电极焊盘和第二主电极焊盘,以及
第一控制电极焊盘,将控制电压供应到所述第一控制电极焊盘,以控制在所述第一主电极焊盘和所述第二主电极焊盘之间的导通,所述第一主电极焊盘和所述第一控制电极焊盘被形成在所述第一晶体管芯片的前表面上,
所述第二主电极焊盘被形成在所述第一晶体管芯片的后表面上,所述第二晶体管芯片具有:
第三主电极焊盘和第四主电极焊盘,以及
第二控制电极焊盘,将控制电压供应到所述第二控制电极焊盘,以控制在所述第三主电极焊盘和所述第四主电极焊盘之间的导通,所述第三主电极焊盘和所述第二控制电极焊盘被形成在所述第二晶体管芯片的前表面上,
所述第四主电极焊盘被形成在所述第二晶体管芯片的后表面上,所述第一晶体管芯片被安装在所述第一布线图案上,使得所述第一晶体管芯片的所述后表面面对所述衬底的所述主表面,由此将所述第二主电极焊盘连接到所述第一布线图案,
所述第一控制电极焊盘被电连接到所述第二布线图案,
所述第二晶体管芯片被安装在所述第一布线图案上,使得所述第二晶体管芯片的所述前表面面对所述衬底的所述主表面,由此将所述第三主电极焊盘连接到所述第一布线图案,以及
所述第二晶体管芯片的所述第二控制电极焊盘被电连接到所述第三布线图案,
所述第一晶体管芯片和所述第二晶体管芯片中的每一个包括宽带隙半导体,
所述多个第一晶体管芯片的所述第一主电极焊盘经由导线被连接在一起,并且
所述多个第二晶体管芯片的所述第四主电极焊盘经由导线被连接在一起,
其中,
所述第一晶体管芯片中的每个第一晶体管芯片的所述第一控制电极焊盘经由第一电阻部被连接到所述第二布线图案,并且
所述第一电阻部具有:
多个第一电阻元件,所述多个第一电阻元件中的每个第一电阻元件与所述多个第一晶体管芯片中的每个第一晶体管芯片对应,并且被连接到所述第一控制电极焊盘,以及
连结部,所述连结部将所述多个第一电阻元件连结在一起。
2.根据权利要求1所述的半导体模块,其中,
所述第一电阻元件中的每个第一电阻元件和所述第一控制电极焊盘被物理性地连接在一起,并且
所述第一电阻元件中的每个第一电阻元件和所述第二布线图案被物理性地连接在一起。
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