[发明专利]半导体激光装置及其制造方法

说明书

本发明涉及半导体激光装置及其制造方法。半导体激光装置具备：半导体激光元件，其朝向第1方向射出激光；准直透镜，其使从上述半导体激光元件射出的激光的成分中的与上述第1方向垂直的第2方向的成分准直；以及透镜固定块，其具有相对于与上述第1方向以及上述第2方向垂直的第3方向垂直的透镜安装面。上述准直透镜的在上述第3方向的第1端部被固定用树脂固定于上述透镜固定块的上述透镜安装面，在被上述固定用树脂固定的上述第1端部中交叉的两个面形成有胶瘤。

技术领域

本发明涉及半导体激光装置及其制造方法。

本申请基于2014年11月17日在日本申请的特愿2014-232637号主张优先权，并在此引用其内容。

背景技术

半导体激光装置与气体激光、固体激光相比，具有小型且功率消耗小(能量转换效率高)等特征。因此，半导体激光装置在民生用途(例如，光学拾取的光源)以及工业用途(例如，光纤激光的激发光源)中被广泛地使用。这样的半导体激光装置具备：射出激光的半导体激光元件、和用于将从半导体激光元件射出的激光准直的准直透镜。

此处，从半导体激光元件射出的激光相比与半导体激光元件的pn接合面平行的方向(慢轴)在垂直的方向(快轴)上更大地扩展。因此，作为上述的准直透镜，使用使从半导体激光元件射出的激光的快轴的成分准直的准直透镜(FAC透镜：快轴准直透镜)。

在以下的专利文献1中公开有半导体激光装置。对于该半导体激光装置而言，在搭载有半导体激光元件的基台上设置有透镜固定台，在该透镜固定台上树脂固定有准直透镜。而且，在半导体激光元件的激光射出部对置配置有准直透镜。另外，在专利文献1中也公开有其他的半导体激光装置。对于该半导体装置而言，上部成为凹型的透镜固定台被设置在基台上，准直透镜的一部分以非接触状态被树脂固定在该透镜固定台的凹部内。由此，可减少因树脂的收缩(例如，固化收缩)、膨胀(例如，吸湿膨胀)而引起的准直透镜的位置偏移。

另外，在以下的专利文献2中也公开有半导体激光装置。对于该半导体激光装置而言，在搭载有半导体激光元件的基台上设置有透镜固定台，通过该透镜固定台以在轴向上夹持准直透镜的方式将准直透镜的两端树脂固定。对于该半导体激光装置而言，因树脂的收缩、膨胀而产生的准直透镜的位置偏移可被准直透镜的长度方向(沿着慢轴的方向)限制。因此，可减少沿着快轴的方向以及沿着激光的射出方向的方向的准直透镜的位置偏移。

专利文献1：日本国特开2011-187525号公报

专利文献2：日本国特开2004-273545号公报

然而，上述的专利文献1所公开的第一个半导体激光装置是将准直透镜树脂固定在透镜固定台上的构造。因此，若产生树脂的收缩、膨胀则存在准直透镜向沿着快轴的方向位置偏移而产生性能降低的担忧。与此相对的，上述的专利文献1所公开的第二个半导体激光装置是树脂固定于上部成为凹型的透镜固定台的构造。因此，可减少准直透镜的位置偏移，但存在上部需要使用凹型的透镜固定台从而成本上升的担忧。

另外，上述的专利文献2所公开的半导体激光装置是准直透镜的两端被树脂固定于透镜固定台的构造。在这样的构造中，为了提高固定强度，有时以在准直透镜的两端形成有胶瘤的方式进行树脂固定。此处，胶瘤是指从应该固定的面间溢出的树脂，此处是指从准直透镜的端面与透镜固定台之间溢出并在准直透镜的侧面扩张的树脂。

若在准直透镜的侧面形成有胶瘤，则沿着快轴的方向以及沿着激光的射出方向的方向上的树脂的重心与透镜的重心的距离变大。树脂的收缩、膨胀以树脂的重心为基准进行。换句话说，朝向树脂的重心收缩，以树脂的重心为中心膨胀。因此，若如上述那样重心间的距离变大，则存在产生准直透镜沿着快轴的方向以及沿着激光的射出方向的方向上的位置偏移的问题。