[发明专利]晶片的缺陷测量装置有效
| 申请号： | 201580041304.5 | 申请日： | 2015-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106574900B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姜憄勋;韩基润 | 申请（专利权）人： | 爱思开矽得荣株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王艳波;张颖玲 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 缺陷 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
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