[发明专利]研磨装置及研磨方法

权利要求书

1.一种研磨装置，其利用砂轮研磨被研磨物，其特征在于，具备：

主轴驱动部，其使可安装所述砂轮的主轴旋转；

移动部，其使所述主轴驱动部沿接近远离所述被研磨物的方向移动；及

倾斜测量部，其测量所述主轴驱动部的移动所伴随的所述主轴的倾斜的变化，

所述移动部具有将所述主轴驱动部支承为可移动的支承部及令由该支承部支承的主轴驱动部移动的进退驱动部，

所述支承部具有设置于所述主轴驱动部的导轨及以可滑动的方式保持所述导轨的滑动保持部。

2.根据权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，

将具有平面状的被测量面的测量构件安装于所述主轴驱动部，

所述倾斜测量部测量所述被测量面的倾斜的变化，作为所述主轴的倾斜的变化。

3.根据权利要求1或2所述的的研磨装置，其特征在于，具备：

状态判断部，其根据所述倾斜测量部中的测量结果，判断所述移动部是否为异常状态；及

通知部，其通知所述状态判断部的判断结果。

4.一种研磨方法，其利用砂轮研磨被研磨物，其特征在于，包括：

接近工序，令设置于主轴驱动部的导轨相对于保持该导轨的滑动保持部滑动，从而使所述主轴驱动部接近所述被研磨物，该主轴驱动部使可安装所述砂轮的主轴旋转；

研磨工序，通过所述主轴驱动部使所述主轴旋转，并利用所述砂轮研磨所述被研磨物；

远离工序，令所述导轨相对于所述滑动保持部滑动，从而使所述主轴驱动部远离所述被研磨物；及

测量工序，测量所述主轴驱动部的移动所伴随的所述主轴的倾斜的变化。