[发明专利]传感器单元及压力检测装置

权利要求书

1.一种传感器单元，其特征在于，具备：

检测压力的传感器芯片；

壳体，其对密封玻璃和该传感器芯片一同进行收纳，上述密封玻璃包围与上述传感器芯片的电路电连接的至少一个端子；

膜片，其对上述传感器芯片及上述端子与要检测压力的压力室进行隔离；以及

压力传递介质，其填充于上述膜片与上述传感器芯片之间，

在上述压力传递介质为硅油的情况下，由有机硅系粘结剂构成的静电保护层形成为仅覆盖上述端子的在该密封玻璃的一方的端面突出的部分的表面、以及该密封玻璃的一方的端面中的上述端子的该突出的部分的周围。

2.一种传感器单元，其特征在于，具备：

检测压力的传感器芯片；

壳体，其对密封玻璃和该传感器芯片一同进行收纳，上述密封玻璃包围与上述传感器芯片的电路电连接的至少一个端子；

膜片，其对上述传感器芯片及上述端子与要检测压力的压力室进行隔离；以及

压力传递介质，其填充于上述膜片与上述传感器芯片之间，

在上述压力传递介质为氟系液体的情况下，由弹性体或氟润滑脂构成的静电保护层形成为仅覆盖上述端子的在该密封玻璃的一方的端面突出的部分的表面、以及该密封玻璃的一方的端面中的上述端子的该突出的部分的周围。

3.根据权利要求1或2所述的传感器单元，其特征在于，

进一步在横跨上述密封玻璃的上端面中的上述端子突出的部分与上述壳体的上端面的内周缘之间的部分的整体上以环状形成有静电保护层，密封该壳体的密封材料覆盖所对置的上述静电保护层的表面。

4.根据权利要求1或2所述的传感器单元，其特征在于，

静电保护层进一步覆盖与密封玻璃的一方的端面中的上述端子的该突出的部分的周围相连的上述壳体的表面。

5.一种压力检测装置，其特征在于，

具备传感器单元收纳部，其收纳权利要求1所述的传感器单元及使该传感器单元的端子排列的端子台，

使上述端子排列的端子台的端部通过有机硅系粘结剂而粘结于上述壳体的一方的端面，上述膜片的周缘接合于上述壳体的另一方的端面。

6.根据权利要求5所述的压力检测装置，其特征在于，

在对上述端子台及上述壳体进行密封的密封材料的上表面形成由环氧系树脂形成的包覆层。

7.根据权利要求5所述的压力检测装置，其特征在于，

在对上述端子台及上述壳体进行密封的密封材料的上表面形成由有机硅系树脂形成的包覆层。

8.根据权利要求5所述的压力检测装置，其特征在于，

上述静电保护层进一步仅形成于由上述端子台的端部、上述壳体的内周面、以及上述密封玻璃的一方的端面包围的部分。

9.根据权利要求8所述的压力检测装置，其特征在于，

在上述静电保护层的上方形成有空洞部。

10.根据权利要求5所述的压力检测装置，其特征在于，

上述静电保护层进一步仅形成于上述端子的从密封玻璃的一方的端面直到上述端子台的部分。

11.根据权利要求5所述的压力检测装置，其特征在于，

上述静电保护层进一步仅形成于从上述端子台的与上述端子邻接而形成的环状的突起部到与该突起部相向的上述密封玻璃的一方的端面的部分。

12.一种压力检测装置，其特征在于，

具备传感器单元收纳部，其收纳权利要求2所述的传感器单元及使该传感器单元的端子排列的端子台，

上述端子台的端部通过上述弹性体或氟润滑脂而接合于上述壳体的一方的端面，上述膜片的周缘接合于上述壳体的另一方的端面。