[发明专利]树脂涂布装置及树脂涂布完成的构件的制造方法

权利要求书

1.一种树脂涂布装置，具备：

载置台，具有载置要涂布树脂的构件的载置面；

涂布头，对载置于所述载置台的所述构件吐出所述树脂；

移动装置，其使所述涂布头往沿着所述载置面的方向，相对于所述载置台相对性移动；

电源装置，其对所述载置台与所述涂布头之间施加电压；

间隙检测部，其检测在所述涂布头所形成的所述树脂的吐出口与在所述载置台所载置的所述构件之间的距离；

电压调节部，其调节借由所述电源装置而对所述载置台与所述涂布头之间所施加的电压的值；以及

第一控制装置，其按照借由所述间隙检测部所检测到的距离而设定借由所述电压调节部所调节的电压值。

2.如权利要求1所述的树脂涂布装置，其中，该树脂涂布装置具备调节从所述涂布头所吐出的所述树脂的吐出量的吐出量调节装置。

3.如权利要求1或2所述的树脂涂布装置，其中，该树脂涂布装置具备：

距离可变装置，其使所述涂布头以能相对于所述载置台接近及离开的方式相对性移动；及

第二控制装置，其将所述距离可变装置控制成，使对载置于所述载置面的所述构件进行来自所述涂布头的所述树脂的吐出开始时的所述涂布头与所述载置台之间的距离，小于在所述树脂的吐出开始后的所述涂布头与所述载置台之间的距离。

4.一种树脂涂布完成的构件的制造方法，其为借由权利要求1至3中任一项所述的树脂涂布装置制造树脂涂布完成的构件的方法，该制造方法具备：

载置步骤，其将要涂布树脂的构件载置于所述载置面；

涂布头配置步骤，其将所述涂布头配置于在所述载置台所载置的所述构件的上方；

电压施加步骤，其借由所述电源装置而对所述载置台与所述涂布头之间施加电压；

树脂涂布步骤，其维持对所述载置台与所述涂布头之间施加电压的状态，且在从所述涂布头吐出所述树脂的状态下使所述移动装置动作，从而对所述构件涂布所述树脂；

间隙检测步骤，其借由所述间隙检测部检测所述吐出口与在所述载置台所载置的所述构件之间的距离；以及

电压调节步骤，其按照借由所述间隙检测步骤所检测到的距离而调节借由所述电压施加步骤所施加的电压值。

5.一种树脂涂布完成的构件的制造方法，具备：

载置步骤，其将要涂布树脂的构件载置于在载置台所形成的载置面；

涂布头配置步骤，其将对所述构件吐出所述树脂的涂布头，配置于在所述载置台所载置的所述构件的上方；

电压施加步骤，其对所述载置台与所述涂布头之间施加电压；

树脂涂布步骤，其维持对所述载置台与所述涂布头之间施加电压的状态，且在从所述涂布头吐出所述树脂的状态下使所述涂布头往沿着所述载置面的方向相对于所述载置台相对性移动，从而对所述构件涂布所述树脂；

间隙检测步骤，其检测在所述涂布头所形成的所述树脂的吐出口与在所述载置台所载置的所述构件之间的距离；以及

电压调节步骤，其按照借由所述间隙检测步骤所检测到的距离而调节借由所述电压施加步骤所施加的电压值。