[发明专利]透明导电性薄膜有效
| 申请号: | 201580001267.5 | 申请日: | 2015-03-11 |
| 公开(公告)号: | CN105452520B | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
| 发明(设计)人: | 川上梨恵;加藤大贵;佐佐和明;待永广宣;宫崎司;上田恵梨 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;B32B9/00;C23C14/35 |
| 代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 透明 导电性 薄膜 | ||
透明导电性薄膜(1)具备:透明基材(2)、配置在透明基材(2)的厚度方向的一侧且由树脂层形成的第1光学调整层(4)、在第1光学调整层(4)的厚度方向的一侧以与第1光学调整层(4)接触的方式配置的无机物层(5)、以及配置在无机物层(5)的厚度方向的一侧的透明导电层(6)。无机物层(5)的厚度为10nm以下,透明导电层(6)的厚度方向的一侧的表面的表面粗糙度为1.40nm以下。
技术领域
本发明涉及一种透明导电性薄膜,详细而言,涉及一种在触摸面板用薄膜等中使用的透明导电性薄膜。
背景技术
以往以来,已知图像显示装置具备触摸面板用薄膜,所述触摸面板用薄膜形成有由铟锡复合氧化物(ITO)等形成的透明布线层。触摸面板用薄膜通常通过在透明基材上层叠了ITO层等的透明导电性薄膜中使ITO层图案化成布线图案来制造(例如参照专利文献1。)。
专利文献1中公开了如下透明导电层叠体:其具有透明基材、高折射率层、低折射率层及透明布线层,低折射率层和透明布线层各自的表面构成凹凸面,在形成有透明布线层的区域和未形成透明布线层的区域二者中,雾度为0.8~2.0%。在该透明导电层叠体中,以不明显的方式形成有透明布线层。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2013-107214号公报
发明内容
近年来,伴随着图像显示装置的大型化和薄膜化的要求,透明导电性薄膜的大型化和薄膜化的要求也提高。然而,若使透明导电性薄膜的ITO层大型化、薄膜化,则ITO层整体或一部分的电阻增加,其结果,产生触摸面板的灵敏度等各功能降低的不良状况。因此,要求减小ITO层的电阻率(低电阻化)。
但是,专利文献1中无法实现ITO层的低电阻化。
本发明的目的在于,提供电阻率优异的透明导电性薄膜。
本发明的透明导电性薄膜的特征在于,其具备:透明基材、配置在前述透明基材的厚度方向的一侧且由树脂层形成的第1光学调整层、在前述第1光学调整层的厚度方向的一侧以与前述第1光学调整层接触的方式配置的无机物层、以及配置在前述无机物层的厚度方向的一侧的透明导电层,前述无机物层的厚度为10nm以下,前述透明导电层的厚度方向的一侧的表面的表面粗糙度为1.40nm以下。
此外,本发明的透明导电性薄膜中适宜的是,前述第1光学调整层的厚度小于200nm。
此外,本发明的透明导电性薄膜中适宜的是,前述第1光学调整层实质上不含有颗粒。
此外,本发明的透明导电性薄膜中适宜的是,前述无机物层的厚度方向的一侧的表面的表面粗糙度为0.20nm以上且0.70nm以下。
此外,本发明的透明导电性薄膜适宜的是,还具备配置在前述透明基材的厚度方向的一侧且前述第1光学调整层的厚度方向的另一侧、且与前述第1光学调整层的折射率不同的第2光学调整层。
此外,本发明的透明导电性薄膜中适宜的是,前述第1光学调整层的折射率比前述第2光学调整层的折射率低。
此外,本发明的透明导电性薄膜中适宜的是,前述透明导电层的厚度为25nm以上且40nm以下。
此外,本发明的透明导电性薄膜中适宜的是,前述透明导电层的电阻率为1.1×10-4Ω·cm以上且2.5×10-4Ω·cm以下。
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