[实用新型]精确定位工件台的传动装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，特别涉及到一种精确定位工件台的传动装置。

背景技术

目前，在高真空镀膜环境下，控制镀膜机的工件台得到定位以拿取工件，是通过传动 装置来实现的，所述传动装置种类繁多、结构各异(有手动或自动结构形式)，但大都存 在着结构设计不尽合理(如零件多，结构复杂)、制造和装配繁琐的缺陷，以致成本较高、 定位精度较差。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种精确定位工件台的 传动装置，本传动装置的结构设计较为合理(如：零件较少、结构简单紧凑等)，传动性能 稳定，使得工件台的定位精度较高，有效保证镀膜工艺的正常、持续进行。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种精确定位工件台的传动装置，它包括工 件台、固定架、第一电机、第一齿轮、第一轴、第一齿圈、承载板、推拉件、磁性密封件、 第二电机、第二轴、第三轴、第一传动件；

固定架、磁性密封件、第一电机、第二电机、第一轴、第二轴、第三轴均为竖直布置 状态，工件台、第一齿圈、第一齿轮、承载板均为水平布置状态，第一齿圈、第一齿轮均 为直齿圆柱齿轮；

第一电机、第二电机设在固定架外的上侧，磁性密封件设在固定架内的下侧；

第一轴为空心轴，第一轴的中部、磁性密封件内外同轴套接，第一轴的上端高于磁性 密封件且位于固定架内，第一轴的上端有轴肩且通过轴肩同轴接有空心的第一齿圈，第一 电机的电机轴伸进固定架内且接有第一齿轮，第一齿轮与第一齿圈相啮合；

让第一轴沿其轴向位移的推拉件设在轴肩和固定架内的下侧之间；

第一轴的下端超出固定架一定距离且下部与承载板的一侧相接，承载板的另一侧设有 与其转动配合的第三轴，第三轴的上端高于承载板且同轴接有工件台，第三轴的下端低于 承载板；

第二轴分别与第一轴、第一齿圈内外同轴套接，第一轴的上下端各设有一个用来安装 第二轴的平面轴承，第二轴的上端高于第一齿圈且位于固定架内，第二电机的电机轴伸进 固定架内且与第二轴的上端相接，第二轴的下端超出第一轴一定距离，让工件台绕第三轴 轴线转动的第一传动件设在第二轴的下部与第三轴的下部之间。

为简洁而清楚地说明问题起见，以下对本实用新型所述精确定位工件台的传动装置均 简称为本传动装置。

采用以上的技术方案后，

第一电机通过第一齿轮驱动第一齿圈，联动磁性密封件密封的第一轴，进而带动承载 板、工件台绕第一轴轴线旋转，实现工件台的公转；

第二电机驱动第二轴，第二轴通过第一传动件联动第三轴，让工件台绕第三轴轴线转 动，实现工件台的自转；

通过推拉件，让第一轴沿其轴向位移，从而带动承载板、第三轴、工件台在竖直方向 上下运动，实现工件台的轴向位移；

通过磁性密封件动密封，有利于工件台在真空环境里实现定位；

精确控制第一电机、第二电机的转动，可实现工件台的精确定位。

这样，本传动装置的结构设计较为合理(如：零件较少、结构简单紧凑等)，传动性能 稳定，使得工件台的定位精度较高，有效保证镀膜工艺的正常、持续进行。

所述第一传动件包括第二齿轮、过桥齿轮轴、第三齿轮，第二齿轮设在第二轴的下部， 第三齿轮设在第三轴的下部，承载板的中段区域下侧设有与其转动配合的过桥齿轮轴，过 桥齿轮轴介于第二齿轮、第三齿轮之间且过桥齿轮分别与第二齿轮、第三齿轮相啮合，第 二齿轮、过桥齿轮、第三齿轮均为直齿圆柱齿轮。

这样，第一传动件的结构设计较为合理(如：零件较少、结构简单紧凑等)，传动性能 稳定，使用时，第二电机驱动第二轴，第二轴带动第二齿轮，借助过桥齿轮联动第三齿轮、 第三轴，让工件台绕第三轴轴线转动，实现工件台的自转。

所述固定架为电机安装板、四个竖直的支撑杆、水平的气缸安装板组成的方形空心框 架，电机安装板、气缸安装板上下布置，四个支撑杆呈方形布置，电机安装板和气缸安装 板同端的前后侧各接有一个支撑杆，电机安装板由第一水平板、竖直板、第二水平板依次 相接构成，第一水平板低于第二水平板，第一水平板与第一电机在位置上相对应，第二水 平板与第二电机在位置上相对应，气缸安装板为直板；

第一电机设在第一水平板的上侧，第二电机设在第二水平板的上侧，磁性密封件设在 气缸安装板中段区域的上侧。