[实用新型]一种大排量三级压缩的氦气隔膜压缩机结构

权利要求书

1.一种大排量三级压缩的氦气隔膜压缩机结构，用于提供压缩的氦气， 其特征在于：包括支撑所述隔膜压缩机结构的基座(10)、固定于所述基座 (10)的曲柄连杆机构(20)和提供压缩气体的三级隔膜压缩机(30)，所 述三级隔膜压缩机(30)固定于所述基座(10)，并被所述曲柄连杆机构(20) 驱动；

所述曲柄连杆机构(20)包括收容于所述基座(10)内的驱动电机以及 分别与所述驱动电机活动连接的第一连杆件(201)、第二连杆件(202)和 第三连杆件(203)，且三者均包括与所述驱动电机活动连接的连杆(21)和 与所述三级隔膜压缩机(30)固定连接的弹簧(22)，所述连杆(21)带动 所述弹簧(22)驱动所述三级隔膜压缩机(30)；

所述三级隔膜压缩机(30)包括分别与所述第一连杆件(201)、所述第 二连杆件(202)和所述第三连杆件(203)对应连接的第一隔膜压缩机(301)、 第二隔膜压缩机(302)和第三隔膜压缩机(303)，所述第一隔膜压缩机(301)、 所述第二隔膜压缩机(302)和所述第三隔膜压缩机(303)均包括用于限制 所述弹簧(22)做直线运动的连接部(31)、于所述连接部(31)内被所述 弹簧(22)驱动作直线往复运动的活塞(32)和被所述活塞(32)驱动的缸 体部(33)，所述连接部(31)与所述基座(10)固定连接，所述缸体部(33) 包括与所述连接部(31)密封连接的缸盖(331)、固定于所述缸盖(331) 内的配油盘(32)和与所述配油盘(332)平行相对间隔设置并固定于所述缸 盖(331)内的膜片(333)，所述缸盖(331)与所述连接部(31)共同围成 缸体空间，所述配油盘(332)与所述缸盖(331)、所述连接部(31)和所 述活塞(32)共同围成内部充满油液的油液区(34)，所述膜片(333)在所 述缸盖(331)内将所述缸体空间分割为油腔(35)和气腔(36)，所述油腔 (35)通过所述配油盘(332)与所述油液区(34)相连通，所述气腔(36) 通过形成于所述缸盖(331)侧壁的进气阀孔(3314)和出气阀孔(3315)与 外界相连通。

2.根据权利要求1所述的大排量三级压缩的氦气隔膜压缩机结构，其特 征在于：所述第一连杆件(201)、所述第二连杆件(202)和所述第三连杆 件(203)之间呈设定夹角设置。

3.根据权利要求1或2所述的大排量三级压缩的氦气隔膜压缩机结构， 其特征在于：所述第一隔膜压缩机(301)和所述第二隔膜压缩机(302)相 对于所述基座(10)对称设置，所述第三隔膜压缩机(303)竖直设于所述基 座(10)的顶部。

4.根据权利要求3所述的大排量三级压缩的氦气隔膜压缩机结构，其特 征在于：所述第一隔膜压缩机(301)、所述第二隔膜压缩机(302)和所述 第三隔膜压缩机(303)的压缩比各不相同，且按等级差设置。

5.根据权利要求4所述的大排量三级压缩的氦气隔膜压缩机结构，其特 征在于：所述连接部(31)整体为内部中空的圆柱体结构。

6.根据权利要求5所述的大排量三级压缩的氦气隔膜压缩机结构，其特 征在于：所述活塞(32)的端部连接有一个直接推动所述缸体部(33)产生 压缩气体的活塞端板(321)。

7.根据权利要求6所述的大排量三级压缩的氦气隔膜压缩机结构，其特 征在于：所述活塞端板(321)为板状结构，且焊接固定于所述活塞(32)。

8.根据权利要求1或6所述的大排量三级压缩的氦气隔膜压缩机结构， 其特征在于：所述缸盖(331)包括相对间隔设置的固定侧壁(3311)和通气 侧壁(3312)，所述固定侧壁(3311)上形成有用于提供油液的进油孔(3313)， 所述通气侧壁(33120上形成有用于提供气体的进气阀孔(3314)和出气阀孔 (3315)，以及于内侧凹陷而成的气腔凹陷部(3316)，所述进气阀孔(3314)和 所述出气阀孔(3315)均设于所述气腔凹陷部(3316)的范围内。