[实用新型]一种晶元芯片检测工装

权利要求书

1.一种晶元芯片检测工装，其特征是，包括线路板、连接座，所述 连接座的一端与线路板连接，所述连接座的另一端的两侧各设有一排测 针，所述的测针包括测针套、设在测针套内的可伸缩的测针头，所述的测 针套与连接座的端面之间通过胶水层连接，每个测针的测针头高出胶水层 的端面，每个测针的测针套通过导线与线路板连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶元芯片检测工装，其特征是，所述的 线路板与连接座之间通过螺栓连接。

3.根据权利要求1或2所述的一种晶元芯片检测工装，其特征是，所 述的测针与连接座端面之间倾斜分布构成夹角，所述测针头的外端弯曲形 成检测端子，所述的检测端子与待检测的晶元芯片垂直。

4.根据权利要求3所述的一种晶元芯片检测工装，其特征是，所述检 测端子的端面为球面。