[实用新型]一种高精度真空管真空度测试仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种在军工、电子工业等领域中，用于对真空管的真空度进行高精度测量的高精度真空管真空度测试仪。

背景技术

目前对真空管真空度的微电流测量以I-V变换电路实现为主，电路结构为电流输入运放反相输入端，同相输入端接地，反相输入端与输出端接I-V变换电阻，其特点是电流测量精度比较高，其缺点是测量范围比较窄，如测量范围涵盖6个数量级，则至少需要分四段测量，由继电器切档实现，并且在切换点附近时测量误差较大，测量速度也较慢，通常该种微电流测量方式，为保证测量精度，一般测量范围比较窄。另外一种方法是直接在回路的采样电阻上取分压，该方法的采样电阻阻值通常非常大，在测量中非常容易受到干扰，同时为保证测量精度，还需要附加补偿电路，其测量电路复杂，成本高，且测量数据一致性较差。随着真空管的发展，上述做法已无法满足真空管真空度的测量要求。

发明内容

鉴于现有技术存在的不足，本实用新型提供一种长期工作稳定性和可靠性高，真空度测量精度可达10-7Pa的高精度真空管真空度测试仪。

本实用新型为实现上述目的，所采取的技术方案是：一种高精度真空管真空度测试仪，包括设置在外壳内的高精度真空管真空度测试仪电路，所述高精度真空管真空度测试仪电路包括AC/DC供电电路I、AC/DC供电电路II、30kV高压直流电源电路、高压缓冲电路、触控屏电路、光纤隔离电路I、光纤隔离电路II、信号隔离电路、高隔DC/DC电路、单片控制电路及光纤接口电路，其特征在于：还包括微电流测量电路，所述30kV高压直流电源电路分别与AC/DC供电电路I、微电流测量电路及信号隔离电路连接，所述单片控制电路分别与高隔DC/DC电路、光纤接口电路、触控屏电路、信号隔离电路及光纤隔离电路II连接，所述AC/DC供电电路II分别与触控屏电路和高隔DC/DC电路连接，所述微电流测量电路分别与高压缓冲电路和光纤隔离电路I连接，所述光纤隔离电路I与光纤隔离电路II连接。

本实用新型的有益效果是：该高精度真空管真空度测试仪可完全替代国外同类产品，大大降低企业的采购成本。测量的速度快，整个测量时间在200ms左右。测量精度高，测量错误率极低，测量范围宽，实际测量范围从几nA至1.5mA。抗干扰及抗高压冲击能力强，不怕输出短路，长期工作可靠性高。可以外部安装上位机软件，并通过安装的触控屏，使测试操作更加方便、灵活。

附图说明

图1是本实用新型的电路连接；

图2本实用新型中微电流测量电路的电原理图；

图3本实用新型中控制流程图；

图4实用新型实际应用中的连接框图。

具体实施方式

如图1、2所示，一种高精度真空管真空度测试仪，包括设置在外壳内的高精度真空管真空度测试仪电路，高精度真空管真空度测试仪电路包括AC/DC供电电路I、AC/DC供电电路II、30kV高压直流电源电路、高压缓冲电路、触控屏电路、光纤隔离电路I、光纤隔离电路II、信号隔离电路、高隔DC/DC电路、单片控制电路及光纤接口电路，还包括微电流测量电路。

30kV高压直流电源电路分别与AC/DC供电电路I、微电流测量电路及信号隔离电路连接，单片控制电路分别与高隔DC/DC电路、光纤接口电路、触控屏电路、信号隔离电路及光纤隔离电路II连接，AC/DC供电电路II分别与触控屏电路和高隔DC/DC电路连接，微电流测量电路分别与高压缓冲电路和光纤隔离电路I连接，光纤隔离电路I与光纤隔离电路II连接。