[实用新型]一种高精度真空管真空度测试仪

权利要求书

1.一种高精度真空管真空度测试仪，包括设置在外壳内的高精度真空管真空度测试仪电路，所述高精度真空管真空度测试仪电路包括AC/DC供电电路I、AC/DC供电电路II、30kV高压直流电源电路、高压缓冲电路、触控屏电路、光纤隔离电路I、光纤隔离电路II、信号隔离电路、高隔DC/DC电路、单片控制电路及光纤接口电路，其特征在于：还包括微电流测量电路，所述30kV高压直流电源电路分别与AC/DC供电电路I、微电流测量电路及信号隔离电路连接，所述单片控制电路分别与高隔DC/DC电路、光纤接口电路、触控屏电路、信号隔离电路及光纤隔离电路II连接，所述AC/DC供电电路II分别与触控屏电路和高隔DC/DC电路连接，所述微电流测量电路分别与高压缓冲电路和光纤隔离电路I连接，所述光纤隔离电路I与光纤隔离电路II连接。

2.根据权利要求1所述的一种高精度真空管真空度测试仪，其特征在于：所述微电流测量电路具体连接为，微电流输入到接插件J4的2脚RTN，接插件J4的1脚E接微电流测量电路参考地大地，接插件J4的2脚RTN分别接电容C20、电阻R3的一端、MOS管Q2的栅极及源极，电容C20另一端接微电流测量电路参考地，MOS管Q2漏极分别接二极管D9、电容C6、电阻R12的一端，电阻R12另一端接+12V，电容C6另一端接二极管D9的另一端及微电流测量电路参考地，电阻R3另一端接继电器RELAY的11脚，继电器RELAY的1脚分别接+24V、二极管D10负极、继电器RELAY的4脚，继电器RELAY的16脚分别接二极管D10正极、三极管Q3集电极，三极管Q3基极分别接电阻R27、电阻R32、电容C38的一端，电阻R27另一端分别接电容C38另一端、三极管Q3的发射极、光耦U10的3脚及+24V的参考地GND，电阻R32另一端分别接电阻R26一端、光耦U10的4脚，电阻R26另一端接+24V，光耦U10的1脚接接插件J2的1脚ZJ，光耦U10的2脚通过电阻R40接数字地DGND，继电器RELAY的8脚接接插件J3的3脚DIS，继电器RELAY的9脚接运放U7的6脚及2脚，运放U7的7脚接+9V，运放U7的4脚接-9V，运放U7的3脚接电容C3的一端、跳线JP1的2脚，电容C3的另一端接微电流测量电路参考地，跳线JP1的1脚、2脚相连并分别接电阻R37、电阻R38的一端，电阻R38另一端接微电流测量电路参考地，电阻R37另一端通过电阻R36接Vref5V，跳线JP1的3脚接电位器RW中心抽头，电位器RW另外两端的一端接Vref5V，另一端微电流测量电路参考地，基准U9的3脚接Vref5V，基准U9的2脚接微电流测量电路参考地，基准U9的1脚分别接电阻R5一端、电阻R6一端，电阻R5另一端接Vref5V，电阻R6另一端接微电流测量电路参考地，电容C5的正极接Vref5V，电容C5的负极接微电流测量电路参考地，电阻R4的一端接+9V，电阻R4的另一端接Vref5V，电阻R9的一端接Vref5V，电阻R9的另一端通过电阻R8分别接电阻R7、电容C4的一端、运放U5的3脚，电阻R7的另一端与电容C4的另一端接微电流测量电路参考地，运放U5的2脚、1脚相接并分别与电阻R13一端、MOS管Q1的漏极连接，电阻R13的另一端接微电流测量电路参考地，继电器RELAY的13脚通过电阻R2分别接电阻R11、电阻R1的一端，电阻R1的另一端分别接电阻R10、电阻R0的一端、MOS管Q1的栅极及源极，电阻R0的另一端接微电流测量电路参考地，电阻R10的另一端分别接电容C1一端、运放U1的3脚，电容C1的另一端接微电流测量电路参考地，电阻R11的另一端分别接电容C2一端、运放U2的3脚，电容C2的另一端接微电流测量电路参考地，运放U2的7脚接+V2，运放U2的4脚接-V2，运放U2的1脚通过电容C9接微电流测量电路参考地，运放U2的8脚通过电容C8接微电流测量电路参考地，运放U2的5脚接微电流测量电路参考地，运放U2的2脚分别接电阻R15、电容C7的一端，电容C7的另一端分别接电阻R14一端、运放U2的6脚，电阻R14的另一端分别接电容C10、电阻R18的一端、电阻R15的另一端，电容C10的另一端接微电流测量电路参考地，电阻R18的另一端分别接电阻R19一端、运放U3的3脚，电阻R19的另一端接微电流测量电路参考地，运放U3的7脚接+V3，运放U3的4脚接-V3，运放U3的1脚接电容C12的一端，电容C12的一端接微电流测量电路参考地，运放U3的8脚通过电容C11接微电流测量电路参考地，运放U3的5脚接微电流测量电路参考地，运放U3的6脚分别接电阻R21一端、稳压管Dz1负极、电阻R34一端，稳压管Dz1正极接微电流测量电路参考地，电阻R34另一端分别接电容C40、芯片U6的3脚，电容C40另一端接微电流测量电路参考地，电阻R21另一端分别接电阻R20一端、运放U3的2脚，电阻R20另一端分别接电阻R16、电阻R17、电阻R22、电容C18、电阻R28的一端，电阻R16另一端分别接电容C13一端、运放U1的6脚，电容C13另一端分别接电阻R17另一端、运放U1的2脚，运放U1的7脚接+V1，运放U1的4脚接-V1，运放U1的8脚通过电容C14接微电流测量电路参考地，运放U1的1脚通过电容C15接微电流测量电路参考地，运放U1的5脚接微电流测量电路参考地，电容C18另一端接微电流测量电路参考地，电阻R22另一端分别接电阻R23的一端、运放U4的3脚，电阻R23另一端接微电流测量电路参考地，运放U4的7脚接+V4，运放U4的4脚接-V4，运放U4的8脚通过电容C16接微电流测量电路参考地，运放U4的1脚接电容C17一端，电容C17另一端接微电流测量电路参考地，运放的5脚接微电流测量电路参考地，运放U4的2脚分别接电阻R24一端、电阻R25一端，电阻R25另一端分别接U4的6脚、电阻R35一端、稳压管Dz2负极，稳压管Dz2正极和电阻R24另一端接微电流测量电路参考地，电阻R35另一端分别接电容C39一端、芯片U6的2脚，电容C39另一端接微电流测量电路参考地，芯片U6的10脚接Vref5V，芯片U6的9脚分别接

电阻R39一端、电容C19正极、电容C21正极、基准U11的K端及+5V端，电阻R39另一端接+9V端，电容C19、电容C21的另一端及基准U11的A端分别接微电流测量电路参考地，芯片U6的1脚接接插件J2的2脚CONV，芯片U6的8脚接接插件J2的3脚SCK，芯片U6的7脚接接插件J2的4脚SDO，芯片U6的6脚接接插件J2的5脚SDI，芯片U6的4脚接微电流测量电路参考地，芯片U6的5脚与接插件J2的7脚相连后接数字地DGND，电容Cx一端接微电流测量电路参考地，另一端接数字地DGND，接插件J2的6脚XZ接光耦U8的4脚，光耦U8的3脚接数字地DGND，光耦U8的1脚接+5V端，光耦U8的2脚通过电阻R31分别接电阻R33一端、运放U5的7脚，电阻R33另一端分别接电阻R28的另一端、电容C37一端、运放U5的5脚，电容C37的另一端接微电流测量电路参考地，运放U5的6脚分别接电阻R41一端、电阻R30一端，电阻R30另一端接微电流测量电路参考地，电阻R41另一端通过电阻R29接Vref5V，模块电源M2的1脚与电容C24一端相连后接+24V，模块电源M2的2脚与电容C24另一端相连后接+24V参考地GND，电容C22与电容C23并联，模块电源M2的6脚接电容C22正极并作为供电端+12V，模块电源M2的4脚与电容C22负极相连后接微电流测量电路参考地，模块电源M3的1脚与电容C26一端相连后接+24V，模块电源M3的2脚与电容C26另一端相连后接+24V参考地GND，模块电源M3的6脚分别接电容C25正极、二极管D1、D2、D3、D4正极并作为供电端+9V，模块电源M3的4脚与电容C25负极相连后接微电流测量电路参考地，二极管D1的负极接电容C27一端并作为供电端+V1，二极管D2的负极接电容C28一端并作为供电端+V2，二极管D3的负极接电容C29一端并作为供电端+V3，二极管D4的负极接电容C30一端并作为供电端+V4，电容C27、C28、C29、C30的另一端相连后接微电流测量电路参考地，模块电源M1的1脚与电容C32一端相连后接+24V，模块电源M1的2脚与电容C32另一端相连后接+24V参考地GND，模块电源M1的4脚分别接电容C31负极、二极管D5、D6、D7、D8负极并作为供电端-9V，模块电源M1的6脚与电容C31正极相连后接微电流测量电路参考地，二极管D5的正极接电容C33一端并作为供电端-V1，二极管D6的正极接电容C34一端并作为供电端-V2，二极管D7的正极接电容C35一端并作为供电端-V3，二极管D8的正极接电容C36一端并作为供电端-V4，电容C33、C34、C35、C36的另一端相连后接微电流测量电路参考地，J3的4脚接+24V，J3的1脚接+24V参考地GND。