[实用新型]一种二相流雾化喷射清洗装置

权利要求书

1.一种二相流雾化喷射清洗装置，用于对放置在清洗腔内旋转平台上 的晶圆进行雾化清洗，其特征在于，所述清洗装置包括：

喷嘴主体，其内部设有液体管路，环绕液体管路设有气体管路，喷嘴主 体下端设有气液导向部件，气液导向部件以一定对称关系水平设有连通液体 管路的多路液体分流管路，各液体分流管路之间具有连通气体管路的出气网 板，出气网板垂直设有密布的多数个气体导向出口，沿各液体分流管路设有 与喷嘴主体轴线呈预设角度下倾的多数个液体导向出口；所述液体导向出口 和/或气体导向出口为直管形、螺旋管形或拉瓦尔喷管结构；

进液管路和进气管路，连接设于一喷淋臂上，并分别连通喷嘴主体内的 液体管路、气体管路，所述喷淋臂带动喷嘴主体作过晶圆圆心的圆弧往复运 动；

雾化颗粒导向出口，围绕设于气液导向部件下方，其为拉瓦尔喷管结构 或具有竖直的内壁；

其中，由液体导向出口喷出的液体与由气体导向出口喷出的气体在气液 导向部件下方相交形成雾化颗粒，并经雾化颗粒导向出口向下喷向晶圆表面。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述喷嘴主体的横 截面形状包括圆形、三角形或多边形，所述气液导向部件的多路液体分流管 路以液体管路下端为共同连通点，并按均匀的辐条状设置，相邻液体分流管 路之间形成近似扇形的出气网板，各液体分流管路的液体导向出口位于出气 网板下方，并朝向其对应一侧出气网板的气体导向出口方向向下倾斜设置。

3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述液体分流管路具 有与喷嘴主体的垂直轴线呈预设角度下倾的一端面，所述液体导向出口由该 端面垂直引出。

4.根据权利要求1或3所述的清洗装置，其特征在于，所述预设角度 为10～80°。

5.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，所述预设角度为30～ 60°。

6.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述液体导向出口 和/或气体导向出口为直管或螺旋管形时，其截面形状包括圆形、三角形、多 边形。

7.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述拉瓦尔喷管结 构依次包括收缩管、窄喉、扩张管，所述收缩管和/或扩张管的纵截面具有直 线或弧线形的管壁形状。

8.根据权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述窄喉为一段定 径管。

9.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述进液管路由喷 嘴主体的上端面中部或上端侧部进入喷嘴主体内连通液体管路，所述进气管 路对应由喷嘴主体的上端侧部或上端面中部进入喷嘴主体内连通气体管路。

10.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述喷嘴主体的横 截面形状为扇形，所述气液导向部件的多路液体分流管路以一与扇形轴线重 合的液体分流管路为主干，并通过该主干液体分流管路连通液体管路下端， 其他的液体分流管路对称分列其两侧，并与同侧扇形的边平行；液体分流管 路以外区域形成出气网板，沿各液体分流管路设有两列分别朝向其两侧方向 下倾并与喷嘴主体的垂直轴线呈预设角度设置的液体导向出口。

11.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述喷嘴主体的形 状为水平的长条形，其内部沿长轴方向并列设有液体管路和气体管路，并各 自连通进液管路、进气管路，在液体管路和气体管路底部、沿其长轴方向各 自设有与其连通的若干列平行设置的液体导向出口、气体导向出口，各液体 导向出口、气体导向出口在喷嘴主体的水平轴线两侧对称排列，并与该水平 轴线呈相同的预设角度相向下倾设置，雾化颗粒导向出口围绕设于液体导向 出口和气体导向出口下方。

12.根据权利要求9所述的清洗装置，其特征在于，当所述进气管路由 喷嘴主体的上端侧部进入喷嘴主体内连通气体管路时，在其气体进口下方的 所述气体管路内环绕液体管路水平设置一气体隔板，所述气体隔板设有环绕 液体管路的一系列不同尺寸的通孔，其按远离气体进口的方向尺寸依次减小。