[实用新型]一种LED发光芯片的新型倒装结构有效
| 申请号: | 201520984278.7 | 申请日: | 2015-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN205231114U | 公开(公告)日: | 2016-05-11 |
| 发明(设计)人: | 郝锐;易翰翔;刘洋;许徳裕 | 申请(专利权)人: | 广东德力光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/56 | 分类号: | H01L33/56 |
| 代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 冯剑明 |
| 地址: | 529030 *** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 led 发光 芯片 新型 倒装 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及LED领域,具体涉及一种LED发光芯片的新型倒装结构。
背景技术
LED发光芯片具有体积小、能耗低、寿命长以及环保等优点,广泛应用于照明领域。LED芯片具有正装和倒装两种结构,其主体是一个发光PN结,主要由N型半导体、发光层和P型半导体组成,所述N型半导体和P型半导体分别连接金属电极。现有的倒装LED芯片一般在发光PN结外覆盖一层钝化层(SiO2层),起保护作用,钝化层外再设置一层光阻层。由于现有的倒装LED芯片在制作过程中需要分别添加钝化层和光阻层,之后还需对金属电极上方的光阻层和钝化层分别进行蚀刻,工序繁琐,制作麻烦,增加成本;此外,由于SiO2是硬性材料,抗冲击、抗压的能力较差,使钝化层不能很好起到保护作用。
发明内容
为克服现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种LED发光芯片的新型倒装结构,利用软性材料的光刻胶取代钝化层对LED芯片的主体进行保护,简化芯片结构。
本实用新型为解决其技术问题采用的技术方案是:
一种LED发光芯片的新型倒装结构,包括衬底,所述衬底下表面设置有由上至下依次排列的N型半导体层、发光层和P型半导体层,所述发光层和P型半导体层上通过蚀刻形成暴露出N型半导体层的孔槽,所述孔槽内部和P型半导体层表面设置有由透明绝缘的光刻胶通过曝光形成的光阻层,所述光阻层上设置有暴露N型半导体层和P型半导体层的缺口,所述N型半导体层和P型半导体层通过缺口分别连接金属电极。
作为上述技术方案的进一步改进,所述金属电极包括与P型半导体层相连接的P电极,以及与N型半导体层相连接的N电极。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型的倒装结构的LED发光芯片,采用透明绝缘的光阻层代替SiO2钝化层,简化LED芯片的结构;由于光阻层是采用软性的光刻胶制作而成,抗冲击、抗压的能力比硬性材料的SiO2更为优秀,能更好的起到保护作用;光阻层取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED芯片的生产效率,并降低制造成本。
附图说明
以下结合附图和实例作进一步说明。
图1是本实用新型的倒装结构的LED发光芯片的结构示意图。
具体实施方式
参照图1,本实用新型提供的一种LED发光芯片的新型倒装结构,包括衬底10,所述衬底10下表面设置有由上至下依次排列的N型半导体层20、发光层30和P型半导体层40,所述发光层30和P型半导体层40上通过蚀刻形成暴露出N型半导体层20的孔槽,所述孔槽内部和P型半导体层40表面设置有由透明绝缘的光刻胶通过曝光形成的光阻层50,所述光阻层50上设置有暴露N型半导体层20和P型半导体层40的缺口,所述N型半导体层20和P型半导体层40通过缺口分别连接金属电极。所述金属电极包括与P型半导体层40相连接的P电极61,以及与N型半导体层20相连接的N电极62。
一种LED发光芯片的新型倒装结构制备方法,包括以下步骤:S1、准备一衬底10,在衬底10上设置N型半导体层20,在N型半导体层20上方设置发光层30,在发光层30上设置P型半导体层40;S2、对P型半导体层40及其下的发光层30进行刻蚀,直至暴露出N型半导体层20;S3、在步骤S2中通过刻蚀得到的孔槽内和P型半导体层40表面涂抹透明绝缘的光刻胶,并通过曝光形成光阻层50;S4、采用显影液蚀刻孔槽内以及P型半导体层40表面的部分光阻层50,形成使N型半导体层20和P型半导体层40暴露的缺口;S5、通过蒸镀在光阻层50的缺口内分别形成金属塞,同时在光阻层50表面形成P电极61和N电极62,其中P电极61通过金属塞连接P型半导体层40,N电极62通过金属塞连接N型半导体层20。
本实用新型的倒装结构的LED发光芯片,采用透明绝缘的光阻层代替SiO2钝化层,简化LED芯片的结构;由于光阻层是采用软性的光刻胶制作而成,抗冲击、抗压的能力比硬性材料的SiO2更为优秀,能更好的起到保护作用;光阻层取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED芯片的生产效率,并降低制造成本。
以上所述,只是本实用新型的较佳实施例而已,本实用新型并不局限于上述实施方式,只要其以相同的手段达到本实用新型的技术效果,都应属于本实用新型的保护范围。
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