[实用新型]一种用于分子泵的变截面涡轮叶片

说明书

技术领域

本实用新型属于流体机械技术领域，尤其是应用于真空泵中，具 体来说涉及一种用于分子泵的变截面涡轮叶片。

背景技术

在做机械运动的各类真空泵中，分子泵是一种结构缜密，工艺要 求高的泵，其原理是靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量， 使气体分子在钢体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的 目的。

涡轮分子泵是由一系列动静相间的叶轮互相配合组成。每个叶轮 的叶片与叶轮水平面成一定角度，动片和静片倾角方向相反。主轴带 动叶轮在静止的定叶片间高速旋转，高速旋转的叶片将动量传递给气 体分子并使其产生定向运动，实现抽气目的。

泵叶片的几何形状与抽速和强度有很大的关系。目前，就分子 泵叶片的种类基本分为扭制、铣制及冲压等方式。与铣制叶片相比， 在相同直径、角度和速度的条件下，扭制叶片缺少几何变量，而且扇 形叶面根部的强度较差。整体铣制叶片受加工刀具的限制也很难选择 最佳的几何形状。另一种矩形叶齿的铣制叶片，虽然加工简单但叶齿 不易加长，否则因叶齿无法承受高速运转时产生的离心力，而导致其 断裂。冲压件与采用其他方式加工的工件相比，具有薄、匀、轻、强 的特点，因此不适用于作为高速旋转的动叶片。另外，冲压加工所使 用的模具一般具有专用性，且模具制造的精度高，技术要求高，是技 术密集型产品。所以，只有在冲压件生产批量较大的情况下，冲压加 工的优点才能充分体现，从而获得较好的经济效益的。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种用于分子泵的变截面 涡轮叶片，包括：中心圆盘和多个叶齿，中心圆盘的横截面为圆环形， 多个叶齿均匀分布在中心圆盘的圆周上，叶齿靠近所述中心圆盘的一 端为齿根，叶齿远离中心圆盘的一端为齿端，每个叶齿沿从齿根至齿 端方向上的每个位置具有不同的厚度，每个叶齿沿从齿根至齿端方向 上的中心截面与中心圆盘之间具有恒定的倾斜角。

根据上述一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，其中，叶齿靠近齿 根的部分的厚度大于其靠近齿端的部分的厚度。

根据上述一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，其中，齿根的厚度 为3mm～6mm。

根据上述一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，其中，齿端的厚度 为0.5～2.5mm。

根据上述一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，其中，倾斜角为 35°～45°。

根据上述一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，其中，齿根与所述 中心圆盘接触部分的圆弧形。

根据上述一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，其中，多个叶齿的 数量小于30个。

有益效果

本实用新型公开了一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，有两个优 点：其一，由于靠近齿根的部分设计较厚的厚度，提高了泵在运转时 转子的抗大气冲击的能力，我们按此设计出来的磁悬浮分子泵，在经 过大气10次的冲击，泵还能正常的使用；其二，由于叶齿与中心圆 盘之间具有不同的截面的设计，增加了气体分子在泵体内运动的线速 度，与变角度旋转截面定叶片的搭配组成的磁悬浮分子泵，增长了气 体的运动路径，线速度能达到250m/s以上，在转子为相同转速情况 下，抽速性能有了可观的提高。

附图说明

图1是本实用新型公开的一种用于分子泵的变截面涡轮叶片的 结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但 不作为对本实用新型的限定。

图1是本实用新型公开的一种用于分子泵的变截面涡轮叶片的 结构示意图，如图1所示，本实用新型提供了一种用于分子泵的变截 面涡轮叶片，包括：中心圆盘01和多个叶齿02，其中，多个叶齿的 数量一般小于30个，中心圆盘01的横截面为圆环形，多个叶齿02 均匀分布在中心圆盘01的圆周上，叶齿02靠近所述中心圆盘的一端 为齿根，叶齿02远离中心圆盘的一端为齿端，其中，齿根与中心圆 盘01接触部分的圆弧形，每个叶齿02沿从齿根至齿端方向上的每个 位置具有不同的厚度，叶齿02靠近齿根的部分的厚度大于其靠近齿 端的部分的厚度，齿根的厚度一般为3mm～6mm，齿端的厚度一般为 0.5～2.5mm，每个叶齿02从齿根至齿端方向上的中心截面与中心圆盘 01之间具有恒定倾斜角，倾斜角一般为35°～45°。

以上所述，仅是本实用新型较佳的实施方式，并非对本实用新型 的技术方案做任何形式上的限制。凡是依据本实用新型的技术实质对 以上实施例做任何简单修改，形式变化和修饰，均落入本实用新型的 保护范围。