[实用新型]一种用于分子泵的变截面涡轮叶片

权利要求书

1.一种用于分子泵的变截面涡轮叶片，其特征在于：所述变截 面涡轮叶片包括：中心圆盘和多个叶齿，所述中心圆盘的横截面为圆 环形，所述多个叶齿均匀分布在所述中心圆盘的圆周上，所述叶齿靠 近所述中心圆盘的一端为齿根，所述叶齿远离所述中心圆盘的一端为 齿端，每个叶齿沿从齿根至齿端方向上的每个位置具有不同的厚度， 每个叶齿沿从齿根至齿端方向上的中心截面与所述中心圆盘之间具 有恒定的倾斜角。

2.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的变截面涡轮叶片， 其特征在于：所述叶齿靠近齿根的部分的厚度大于其靠近齿端的部分 的厚度。

3.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的变截面涡轮叶片， 其特征在于：所述齿根的厚度为3mm～6mm。

4.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的变截面涡轮叶片， 其特征在于：所述齿端的厚度为0.5～2.5mm。

5.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的变截面涡轮叶片， 其特征在于：所述倾斜角为35°～45°。

6.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的变截面涡轮叶片， 其特征在于：所述齿根与所述中心圆盘接触部分的圆弧形。

7.根据权利要求1所述的一种用于分子泵的变截面涡轮叶片， 其特征在于：所述多个叶齿的数量小于30个。