[实用新型]热板光阻检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光阻检测装置，尤其涉及一种热板光阻检测装置。

背景技术

玻璃在软烤(Softbake)和硬烤(Hardbake)制程过程中，由于热板腔(Hotplatechamber)内温度较高，光阻容易挥发，吸附在热板腔内壁形成光阻滴，如果光阻滴在热板(HotPlate：HP)内残留过多，会导致产品产生异常颗粒，热板腔内有排出(exhaust)光阻装置，但不能完全清理光阻，如热板腔内的光阻累计量过多，产生光阻滴滴在产品上，会影响产品的品质，需要增加一种装置，检测热板腔的机构内的光阻累计量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供了一种热板光阻检测装置，能够随时的检测到热板腔内的光阻的含量，及时的清理热板腔内壁的光阻，保证了产品的品质。

本实用新型解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现。

本实用新型提供了一种热板光阻检测装置，该热板光阻检测装置包括固定框架、电路单元、若干海绵球组成光阻吸收器、连接杆和弹簧，该固定框架形成一空腔，该弹簧具有第一端及与该第一端相对的第二端，该弹簧的第一端固定联接在该固定框架内的空腔的顶壁，该光阻吸收器通过连接杆与该弹簧的第二端固定连接在一起，该电路单元包括滑动变阻器、电流表和电源，该电源的输出端与该电流表电连接，该电源的输入端与该滑动变阻器电连接，该滑动变阻器与该电流表电连接，该滑动变阻器设有指针，该指针固定连接在该弹簧的第二端上，并可随该弹簧的第二端滑动。

进一步地，该固定框架内的空腔的顶壁安装固定有套筒，该套筒的中部开设有孔道，该弹簧套设在该孔道中，套筒底部设有一开口，该开口将套筒中的孔道与本体的空腔相连通。

进一步地，该连接杆穿设于套筒的开口并与弹簧的第二端固定连接。

进一步地，该套筒的侧壁上开设有滑槽，该滑槽将套筒中的孔道与该固定框架中的空腔连通。

进一步地，该滑动变阻器安装在本体的空腔内，并靠近套筒中的滑槽而设置，且该滑动变阻器的延伸方向与该套筒中的滑槽的延伸方向一致。

进一步地，该滑动变阻器上的指针设置在套筒上的滑槽中，该指针的一端通过滑槽裸露在孔道中，并与弹簧的第二端固定连接。

进一步地，该热板光阻检测装置还包括设置在该套筒上连接一报警装置的警示器，该弹簧的第二端滑动到警示器所在位置，报警装置将会发出报警提示。

进一步地，该报警装置设置在热板腔的外部机台上。

进一步地，该电流表设置在该热板腔的外部机台上。

进一步地，该连接杆可拆卸，该连接杆拆卸后使用有机溶剂洗去光阻，可重复使用。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1为本实用新型实施例中热板光阻检测装置的结构示意图。

图2为本实用新型实施例中热板光阻检测装置的电路原理示意图。

具体实施方式

为了更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本实用新型进行详细说明如下。

图1为本实用新型实施例中热板光阻检测装置的结构示意图，图2为本实用新型实施例中热板光阻检测装置的电路原理示意图。请参考图1至图2，热板光阻检测装置包括本体10、电路单元20、光阻吸收器30、连接杆40和弹簧50。