[实用新型]热板光阻检测装置有效
申请号: | 201520950749.2 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN205139067U | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 王继鹏;吴金力 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 杨波 |
地址: | 215301 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热板光阻 检测 装置 | ||
1.一种热板光阻检测装置,其特征在于,该热板光阻检测装置包括固定框架(11)、电路单元(20)、若干海绵球组成光阻吸收器(30)、连接杆(40)和弹簧(50),该固定框架(11)形成一空腔(13),该弹簧(50)具有第一端(51)及与该第一端(51)相对的第二端(52),该弹簧(50)的第一端(51)固定联接在该固定框架(11)内的空腔(13)的顶壁,该光阻吸收器(30)通过连接杆(40)与该弹簧(50)的第二端(52)固定连接在一起,该电路单元(20)包括滑动变阻器(21)、电流表(22)和电源(24),该电源(24)的输出端与该电流表(22)电连接,该电源(24)的输入端与该滑动变阻器(21)电连接,该滑动变阻器(21)与该电流表(22)电连接,该滑动变阻器(21)设有指针(211),该指针(211)固定连接在该弹簧(50)的第二端(52)上,并可随该弹簧(50)的第二端(52)滑动。
2.根据权利要求1所述的热板光阻检测装置,其特征在于,该固定框架(11)内的空腔(13)的顶壁安装固定有套筒(12),该套筒(12)的中部开设有孔道(121),该弹簧(50)套设在该孔道(121)中,套筒(12)底部设有一开口(122),该开口(122)将套筒(12)中的孔道(121)与本体(10)的空腔(13)相连通。
3.根据权利要求2所述的热板光阻检测装置,其特征在于,该连接杆(40)穿设于套筒(12)中的开口(122)并与弹簧(50)的第二端(52)固定连接。
4.根据权利要求3所述的热板光阻检测装置,其特征在于,该套筒(12)的侧壁(120)上开设有滑槽(123),该滑槽(123)将套筒(12)中的孔道(121)与该本体(10)的空腔(13)连通。
5.根据权利要求4所述的热板光阻检测装置,其特征在于,该滑动变阻器(21)安装在本体(10)的空腔(13)内,并靠近套筒(12)中的滑槽(123)而设置,且该滑动变阻器(21)的延伸方向与该套筒(12)中的滑槽(123)的延伸方向一致。
6.根据权利要求5所述的热板光阻检测装置,其特征在于,该滑动变阻器(21)上的指针(211)设置在套筒(12)上的滑槽(123)中,该指针(211)的一端通过滑槽(123)裸露在孔道(121)中,并与弹簧(50)的第二端(52)固定连接。
7.根据权利要求6所述的热板光阻检测装置,其特征在于,该热板光阻检测装置还包括设置在该套筒(12)上连接一报警装置的警示器(60),该弹簧(50)的第二端(52)滑动到警示器(60)所在位置,报警装置将会发出报警提示。
8.根据权利要求7所述的热板光阻检测装置,其特征在于,该报警装置设置在热板腔的外部机台上。
9.根据权利要求8所述的热板光阻检测装置,其特征在于,该电流表(22)设置在该热板腔的外部机台上。
10.根据权利要求1所述的热板光阻检测装置,其特征在于,该连接杆(40)可拆卸,该连接杆(40)拆卸后使用有机溶剂洗去光阻,可重复使用。
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