[实用新型]一种极紫外光源性能参数的测量系统

权利要求书

1.一种极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，包括：

EUV光源腔室，其中设置有光辐照源，用于辐射光；

反射镜腔室，其中设置有反射镜，通过与滤光片的共同作用，从所述辐射光滤出EUV光送入测量腔室；

测量腔室，其中设置有旋转调节装置；

其中，所述EUV光源腔室、反射镜腔室和测量腔室配置有一套抽气泵组以及相应量程的真空计；

所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构；

所述旋转圆盘开有至少一个通光孔，所述至少一个前置部件装载结构固定于所述至少一个通光孔内；所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方；

所述旋转转盘的支撑调节结构包括：

第一调节杆，其为中空结构，一端固定于所述旋转圆盘，并将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上；

第二调节杆，其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔，以旋钮方式固定在支撑板上；

支撑板，其固定于所述测量腔室底部腔壁上；

其中所述第一调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘在光轴垂直面内旋转；所述第二调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘沿光轴方向前后移动。

2.如权利要求1所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述旋转转盘的支撑调节结构还包括：

第一调节旋钮，其与所述第一调节杆连为一体，为中空结构，且位于所述测量腔室外部；

第二调节旋钮，其与所述第二调节杆连为一体，且位于所述第一调节旋钮后方。

3.如权利要求1所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述旋转圆盘包括多个通光孔，且所述多个通光孔中心位于同一个同心圆上。

4.如权利要求1所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述前置部件装载结构上可安装一种或多种前置部件。

5.如权利要求4所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述前置部件装载结构中间具有通光孔，通光孔后方为装载槽，所述装载槽内具有螺纹面，前置部件放置于所述装载槽后，通过圆环固定，所述圆环外部为螺纹面，与所述装载槽内的螺纹面相配合。

6.如权利要求1-5任一项所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述反射镜腔室内设置有第一多层膜反射镜和第二多层膜反射镜，所述第一多层膜反射镜为平面反射镜，用于反射入射光，所述第二多层膜反射镜为用于聚焦的球面反射镜，用于反射从所述第一多层膜反射镜反射出的光；所述第一多层膜反射镜以使光入射角小于45度的角度设置，所述第二多层膜反射镜以使所述第一多层膜反射镜反射出的光平行出射出去的角度设置。

7.如权利要求6所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述第一多层膜反射镜和第二多层膜反射镜均为镀有Mo/Si多层膜的反射镜。

8.如权利要求1-5、7任一项所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述EUV光源腔室与反射镜腔室之间具有第一通路，所述反射镜腔室与测量腔室之间具有第二通路；所述第一通路沿光路方向设置有开关快门、波纹管和限光光阑调节部件；所述第二通路上设置有极紫外滤光片。

9.如权利要求2所述的极紫外光源性能参数测量系统，其特征在于，所述第一调节旋钮与所述接口法兰通过带波纹管的中空管连接。