[实用新型]一种镀膜机的扩散泵主阀门

权利要求书

1.一种镀膜机的扩散泵主阀门，包括安装在真空腔体中的扩散泵、盖合在扩散泵开口处的阀盖，以及安装在真空腔体外面的阀盖驱动机构，阀盖驱动机构的动力输出端伸入到真空腔体中并与阀盖连接，其特征是：所述阀盖驱动机构包括旋转机构、转轴、第一连杆和第二连杆；转轴处于所述真空腔体的上部，转轴的两端分别可转动安装在真空腔体的侧壁上；旋转机构安装在真空腔体的外侧壁上，旋转机构的动力输出端与转轴的一端传动连接；第一连杆的上端与转轴的中部固定连接，第一连杆的下端与第二连杆的上端铰接，第二连杆的下端与阀盖铰接。

2.如权利要求1所述的镀膜机的扩散泵主阀门，其特征是：还包括两个密封套，所述转轴的两端分别通过密封套可转动安装在所述真空腔体的侧壁上。

3.如权利要求1或2所述的镀膜机的扩散泵主阀门，其特征是：所述旋转机构包括气缸和推杆，气缸安装在所述真空腔体的外侧壁上，推杆的一端与气缸连接，推杆的另一端与转轴连接。