[实用新型]一种等离子体发生器的电极保护装置

权利要求书

1.一种等离子体发生器的电极保护装置，包括绝缘介质板，保护管，介质管、电极，其特征是所述绝缘介质板上涂覆一层功能性薄膜，保护管材料为具有耐酸耐腐蚀的实心管材，介质管为空心管，电极插入介质管中作为高压电极和地电极，保护管和介质管分别平行排列固定在两块介质板上，介质管位于两个保护管之间，高压电极和地电极分别通过介质板上的通孔与电源连接。

2.根据权利要求1所述电极保护装置，其特征是所述功能性薄膜为具有降低反应阈值的薄膜材料和二氧化钛薄膜材料。

3.根据权利要求1所述电极保护装置，其特征是所述介质板材料为有机玻璃、聚四氟乙烯、陶瓷或石英。

4.根据权利要求1所述电极保护装置，其特征是所述保护管材料为有机玻璃、陶瓷或石英。

5.根据权利要求1所述电极保护装置，其特征是所述电极材料为铁、铜或钨。