[实用新型]一种用于硅片的喷砂器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅片的喷砂器。

背景技术

硅片在生产过程中，将硅锭切割成硅片后部分硅片可能需要进行喷砂处理，以利于硅片的后续处理。

现有技术中没有专门针对硅片进行喷砂处理的装置，由于硅片生产过程中可能并不需要对所有硅片进行喷砂，因此，现有技术中对硅片进行喷砂时均在生产现场直接进行，硅片喷砂处理过程中砂料回收率低，并且，由于喷砂时没有防护措施，硅片的喷砂过程对环境影响大。现有技术中有采用其它材料的喷砂装置对硅片进行喷砂处理，但是现有技术中的喷砂装置需要手工打开门体将硅片放入装置内进行喷砂，操作十分不方便。

发明内容

本实用新型提供的一种用于硅片的喷砂器，旨在克服现有技术中喷砂装置操作不方便的不足。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种用于硅片的喷砂器，包括箱体，所述箱体内设有将箱体分为上腔和下腔的隔板，所述隔板上开设有排砂口，所述箱体上开设有取放窗口，所述箱体上还开设有观察窗口，所述取放窗口和观察窗口均与上腔相通，所述箱体上还固定有封闭观察窗口的亚克力板，所述亚克力板通过固定螺钉固定在箱体上，所述箱体上设有封闭取放窗口的密封板，所述密封板滑动连接在箱体上，所述箱体上固定有滑轨，所述滑轨上开设有与密封板配合的滑槽，所述滑槽内填充有润滑脂，所述箱体上还固定有驱动密封板滑动的丝杠，所述密封板上固定有与丝杠配合的螺母，所述箱体上还固定有驱动丝杠转动的驱动电机，所述箱体上还固定有控制驱动电机的控制器，所述箱体上在取放窗口处还固定有检测是否需要打开密封板的光线检测器，所述光线检测器包括发光器和接收器，所述发光器位于取放窗口的上端，所述接收器位于取放窗口的下端，所述接收器与控制器相互通讯，所述箱体上还固定有一对限制密封板极限位置的限位开关，所述限位开关与控制器相互通讯；该用于硅片的喷砂器还包括喷枪，所述喷枪位于上腔内，所述下腔内固定有喷砂器，所述上腔内还固定有控制喷砂器的控制装置，所述控制装置与控制器相互通讯，所述排砂口与喷砂器之间通过排砂管连接，所述喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，所述隔板上开设有穿设喷砂管的通孔，所述箱体上还开设有检修口，所述检修口与下腔相通，所述箱体上固定有封闭检修口的检修门，所述箱体上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封闭手持窗口的手套，所述手套位于上腔内。

上述构成中，密封板滑动连接在箱体上，并且在箱体上固定有驱动密封板滑动的丝杠，丝杠由固定在箱体上的驱动电机进行驱动，箱体上固定有控制驱动电机的控制器，光线检测器用于检测是否需要打开取放窗口，当需要打开取放窗口时，操作人员遮挡光线检测器的发光器，此时接收器得到该信号并将该信号传输给控制器，控制器控制驱动电机工作，从而打开取放窗口，操作人员操作完毕后取消对发光器的遮挡，从而使得取放窗口自动恢复关闭状态，操作十分方便；另外，控制装置与控制器互相通讯，喷砂器与驱动电机可以形成互锁效果，大大提高了喷砂器的安全性能。

一种可选的方案，所述箱体上开设有容纳亚克力板的容纳槽，所述容纳槽与观察窗口相通，所述亚克力板与容纳槽之间固定有密封垫片，所述密封垫片粘接在容纳槽内。箱体上开设容纳槽并将亚克力板固定在容纳槽内，亚克力板与容纳槽之间粘接有密封垫片，亚克力板可以良好地将观察窗口密封，减少了喷砂过程中对环境的污染。

一种可选的方案，所述检修门通过连接螺钉固定在箱体上，所述检修门上粘接有密封圈，所述检修门上开设有容纳密封圈的装配槽。检修门与箱体之间粘接密封圈，可以避免灰尘进入下腔内影响喷砂器的工作环境，提高了喷砂器工作时的稳定性能。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种用于硅片的喷砂器，具有如下优点：在箱体上固定有封闭取放窗口的密封板，该密封板滑动连接在箱体上，箱体上还固定有驱动密封板滑动的丝杠，该丝杠由驱动电机驱动，箱体上固定有控制驱动电机的控制器，该控制器与光线检测器相互通讯，需要将产品放入上腔时，操作人员遮挡光线检测器的发光器，光线检测器的接收器得到信号并将该信号传至控制器，驱动电机动作打开取放窗口，操作人员操作完毕后取消遮挡发光器的动作，接收器得到信号后控制器控制驱动电机动作，将取放窗口关闭，操作人员在取放产品时，取放窗口自动打开或关闭，操作十分方便；另外，控制器与控制装置相互通讯，可以将控制装置、控制器组成互锁结构，大大提高了喷砂操作的安全性能。

附图说明

附图1是本实用新型一种用于硅片的喷砂器的主视图；

附图2是本实用新型一种用于硅片的喷砂器的左视图；