[实用新型]一种用于硅片的喷砂器

权利要求书

1.一种用于硅片的喷砂器，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内设有将箱体(1)分为上腔(2)和下腔(3)的隔板(4)，所述隔板(4)上开设有排砂口(5)，所述箱体(1)上开设有取放窗口(6)，所述箱体(1)上还开设有观察窗口(7)，所述取放窗口(6)和观察窗口(7)均与上腔(2)相通，所述箱体(1)上还固定有封闭观察窗口(7)的亚克力板(8)，所述亚克力板(8)通过固定螺钉固定在箱体(1)上，所述箱体(1)上设有封闭取放窗口(6)的密封板(9)，所述密封板(9)滑动连接在箱体(1)上，所述箱体(1)上固定有滑轨(10)，所述滑轨(10)上开设有与密封板(9)配合的滑槽(11)，所述滑槽(11)内填充有润滑脂，所述箱体(1)上还固定有驱动密封板(9)滑动的丝杠(12)，所述密封板(9)上固定有与丝杠(12)配合的螺母(13)，所述箱体(1)上还固定有驱动丝杠(12)转动的驱动电机(14)，所述箱体(1)上还固定有控制驱动电机(14)的控制器(15)，所述箱体(1)上在取放窗口(6)处还固定有检测是否需要打开密封板(9)的光线检测器，所述光线检测器包括发光器(16)和接收器(17)，所述发光器(16)位于取放窗口(6)的上端，所述接收器(17)位于取放窗口(6)的下端，所述接收器(17)与控制器(15)相互通讯，所述箱体(1)上还固定有一对限制密封板(9)极限位置的限位开关(18)，所述限位开关(18)与控制器(15)相互通讯；该用于硅片的喷砂器还包括喷枪(19)，所述喷枪(19)位于上腔(2)内，所述下腔(3)内固定有喷砂器(20)，所述上腔(2)内还固定有控制喷砂器(20)的控制装置(21)，所述控制装置(21)与控制器(15)相互通讯，所述排砂口(5)与喷砂器(20)之间通过排砂管(22)连接，所述喷砂器(20)通过喷砂管(23)与喷枪(19)连接，所述隔板(4)上开设有穿设喷砂管(23)的通孔，所述箱体(1)上还开设有检修口(24)，所述检修口(24)与下腔(3)相通，所述箱体(1)上固定有封闭检修口(24)的检修门(25)，所述箱体(1)上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口(26)，所述手持窗口(26)上固定有封闭手持窗口(26)的手套，所述手套位于上腔(2)内。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片的喷砂器，其特征在于：所述箱体(1)上开设有容纳亚克力板(8)的容纳槽，所述容纳槽与观察窗口(7)相通，所述亚克力板(8)与容纳槽之间固定有密封垫片，所述密封垫片粘接在容纳槽内。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片的喷砂器，其特征在于：所述检修门(25)通过连接螺钉固定在箱体(1)上，所述检修门(25)上粘接有密封圈，所述检修门(25)上开设有容纳密封圈的装配槽。