[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 201520859091.4 | 申请日： | 2015-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN205159296U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张忠恕;张娟;陈强;孙云涛;冯继瑶;边占宁;赵晓亮;于洋;李宝军;王笑波;王连连;张连兴;李翔星;于立臣 | 申请（专利权）人： | 北京凯德石英股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
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| 地址： | 101109 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
1.一种石英舟，其特征在于，包括：
用于与外部传输线固定的固定底板(1)，设置在外部传输线上；
若干开槽石英支撑柱(2)，设置在所述固定底板(1)上；且，若干所述开 槽石英支撑柱(2)组成支撑体；
所述开槽石英支撑柱(2)包括支撑杆(21)及分别设置在所述支撑杆(21) 上的若干放置槽(22)；
若干加强支撑槽板(3)，分别与若干所述开槽石英支撑柱(2)连接。
2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述固定底板(1)包括：
支撑板(11)，分别与若干所述开槽石英支撑柱(2)连接；
用于与外部传输线上的凹槽配合固定的凸起(12)，设置在所述支撑板(11) 上。
3.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述支撑体为弧形支撑体， 所述加强支撑槽板(3)为弧形加强支撑槽板(3)；
若干所述弧形加强支撑槽板(3)设置在所述圆柱形支撑体外表面，且若干 所述弧形加强支撑槽板(3)的一端均处于同一直线上。
4.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，若干所述放置槽(22)与支 撑杆(21)之间设置有一夹角。
5.如权利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述夹角在60°～80°之间。
6.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述开槽石英支撑柱(2) 为6根；所述加强支撑槽板(3)为5块。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
