[实用新型]一种温控型传送装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械臂支撑架领域，尤其涉及一种温控型传送装 置。

背景技术

在阵列(Array)制程中，主要制程为薄膜、黄光以及刻蚀，其中 不同制程、不同设备有不同温度需求。在现行Array制程上，常会发 现形状、严重程度不同的光晕(Mura)缺陷，其原因多是因为温度 变异过大造成。如现行在高温制程后，部份设备由机械臂(Robot) 的支撑架(Fork)承接玻璃，进而传送至下一单元。但因Fork为常温 约23度左右，当高温的玻璃接触到常温的Fork时，其一瞬间的热传 导效应即造成玻璃上的光刻胶或膜质产生变异，使得该接触点位上的 薄膜晶体管(TFT)元件有局部变异，进而在后段点灯时出现Mura 异常。

由于现有的机械臂(Robot)支撑架(fork)均仅有支撑功能，但 无任何温度控制功能，在承接与环境温度差异过大的制程玻璃时，极 有可能因温差过大而造成接触点位上TFT元件的局部变异，进而产生 Mura。为能有效解决上述问题，亟需发明出一种可依不同制程温度 需求，能随时变更温度的支撑架，以彻底杜绝此类异常再次发生。

实用新型内容

鉴于现有技术中的不足，本实用新型技术方案提供一种温控型传 送装置，通过将承接玻璃的支撑架设计成中空型机构，在其内部通入 温控气体，使支撑架具温度调整功能。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案为：

提供一种温控型传送装置，其特征在于，包括：

机械手臂；

支撑架本体，固定设置于所述机械手臂的一端，且所述支撑架本 体上方均匀设置有若干用于承接玻璃的支撑垫；

温控装置，设置于所述机械手臂未连接支撑架本体的另一端，用 于调整所述支撑垫的温度。

优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述温控装置包括：

温控腔体，具有入气口和出气口；

风扇，临近所述入气口设置，以将温控气体导入所述温控腔体中；

加热器，设置于所述温控腔体中，以对导入的所述温控气体进行 加热。

优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述支撑架本体内部设 置有气体回路通道，且所述气体回路通道具有进气口和排气口。

优选的，上述的温控型传送装置，还包括：

送气管道，所述温控腔体的出气口通过所述送气管道与所述气体 回路通道的进气口贯通连接；

出气管道，所述气体回路通道的排气口和外界通过所述出气管道 贯通连接。

优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述送气管道和所述出 气管道都设置在所述机械手臂中。

优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述气体回路通道均匀 分布于所述支撑架本体内部，以使所述若干支撑垫的温度均趋于一 致。

优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述支撑架的材质为热 的良导体材质。

优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述温控装置还包括：

控制模块，与所述加热器连接；

所述控制模块依据各制程单元的不同制程温度来控制所述加热 器的温度，以使被所述加热器加热后的所述温控气体的温度与当前制 程单元的制程温度趋于一致。

优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述温控气体为大气。

本实用新型的技术方案具备以下有益效果：本实用新型的一种温 控型传送装置，通过将承接玻璃的支撑架设计成中空型机构，在其内 部通入温控气体，使支撑架具备温度调整功能。因承接玻璃时支撑架 是通过支撑垫与玻璃基板接触，造成Mura异常的主要原因是因为与 玻璃接触的支撑垫与玻璃基板之间的温差过大。因此本实用新型将气 体温控装置依随各制程单元不同的制程温度而进行相对应的温度参 数调整，使温控气体通入支撑架本体内，进而使支撑架本体(含支撑 垫)与经过各制程的玻璃温度趋近一致，即可避免因温度差异而产生 Mura。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实 用新型及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的 标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本 实用新型的主旨。

图1是本实用新型的温控型传送装置与机械手臂连接的俯视图；