[实用新型]一种温控型传送装置

权利要求书

1.一种温控型传送装置，其特征在于，包括：

机械手臂；

支撑架本体，固定设置于所述机械手臂的一端，且所述支撑架本 体上方均匀设置有若干用于承接玻璃的支撑垫；

温控装置，设置于所述机械手臂未连接支撑架本体的另一端，用 于调整所述支撑垫的温度。

2.如权利要求1所述的温控型传送装置，其特征在于，所述温 控装置包括：

温控腔体，具有入气口和出气口；

风扇，临近所述入气口设置，以将温控气体导入所述温控腔体中；

加热器，设置于所述温控腔体中，以对导入的所述温控气体进行 加热。

3.如权利要求2所述的温控型传送装置，其特征在于，所述支 撑架本体内部设置有气体回路通道，且所述气体回路通道具有进气口 和排气口。

4.如权利要求3所述的温控型传送装置，其特征在于，所述温 控型传送装置还包括：

送气管道，所述温控腔体的出气口通过所述送气管道与所述气体 回路通道的进气口贯通连接；

出气管道，所述气体回路通道的排气口和外界通过所述出气管道 贯通连接。

5.如权利要求4所述的温控型传送装置，其特征在于，所述送 气管道和所述出气管道都设置在所述机械手臂中。

6.如权利要求5所述的温控型传送装置，其特征在于，所述气 体回路通道均匀分布于所述支撑架本体内部，以使所述若干支撑垫的 温度均趋于一致。

7.如权利要求1所述的温控型传送装置，其特征在于，所述支 撑架的材质为热的良导体材质。

8.如权利要求3所述的温控型传送装置，其特征在于，所述温 控装置还包括：

控制模块，与所述加热器连接；

所述控制模块依据各制程单元的不同制程温度来控制所述加热 器的温度，以使被所述加热器加热后的所述温控气体的温度与当前制 程单元的制程温度趋于一致。

9.如权利要求2所述的温控型传送装置，其特征在于，所述温 控气体为大气。