[实用新型]沉积罩

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种板式电浆辅助化学气相沉积系统的沉积罩，特别涉及一种利用支撑件支撑底板与侧板的沉积罩。

背景技术

一般来说，在太阳能电池的制造过程中，通常都会通过沉积制程来形成太阳能电池的主要结构，而在沉积的过程中，往往会使用到沉积罩，以通过沉积罩的遮蔽来对太阳能电池的特定部位进行沉积或喷淋。

请参阅图1至图3，图1系显示现有技术的板式电浆辅助化学气相沉积(PECVD)沉积罩立体示意图；图2系显示现有技术的沉积罩应用平面示意图；图3系显示现有技术的沉积罩经过翻新而变形的平面示意图。如图所示，一沉积罩PA100包含一底板PA1、二侧板PA2与PA3以及二出气板PA4与PA5，其中，二侧板PA2与PA3以及二出气板PA4与PA5皆一体成型地自底板PA1弯折延伸所形成，且出气板PA4与PA5各设有一通气孔PA41与PA51。

在实务运用上，沉积罩PA100是将一等离子体源组件PA200罩设于底板PA1以及二侧板PA2与PA3之间，且在沉积制程中，特殊气体会经由通气孔PA4与PA5沉积或喷淋在太阳能电池表面。

为了有效的利用沉积罩PA100，沉积罩PA100通常会经过多次反复的清洗、喷砂以及铝熔射等翻新过程，而在经历过多次翻新之后，沉积罩PA100很容易在翻新的过程中产生变形，沉积罩PA100的两侧板PA2与PA3会往内缩，进而使通气孔PA41与PA51的位置移位，若将此变形的沉积罩PA100勉强使用于太阳能电池的沉积制程时，偏移的通气孔PA41与PA51会影响到特殊气体的正常输送喷淋，造成沉积的薄膜产生色差与品质不良等问题，因此当沉积罩PA100变形量达到一定程度时便无法继续使用，只能做报废处理。

实用新型内容

有鉴于现有技术的沉积罩在反复的翻新过程中，常常会因为翻新时所受到冲击而产生变形，进而导致沉积罩的通气孔移位，使得变形沉积罩无法在沉积的过程中达到原先所能提供的作用，只能将其报废而相对地增加了太阳能电池的制造成本；缘此，本实用新型的发明人提供了一种沉积罩，通过在底板与二侧板之间分别设置支撑件，以防止二侧板在翻新的过程中产生变形移位。

本实用新型为解决上述技术的问题所采用的必要技术手段是提供一种沉积罩，包含一底板、一第一侧板、一第二侧板、一第一出气板、一第二出气板以及多个支撑件。底板是沿一长度方向延伸，并具有沿该长度方向延伸的一第一侧边与一第二侧边；第一侧板是自邻接于该第一侧边处沿垂直于该长度方向延伸的一第一侧向延展方向延伸至一第一侧板侧边，并在与该第一侧边相连接处形成一第一转接区域；第二侧板是自邻接于该第二侧边处沿垂直于该长度方向延伸的一第二侧向延展方向延伸至一第二侧板侧边，并在与该第二侧边相连接处形成一第二转接区域；第一出气板是自该第一侧板侧边背向该第二侧板侧边延伸出，该第一出气板包含多个第一通气孔；第二出气板是自该第二侧板侧边背向该第一侧板侧边延伸出，该第二出气板包含多个第二通气孔；多个支撑件是分别设置于该第一转接区域以及该第二转接区域，其中设置于该第一转接区域的该支撑件是与该底板及该第一侧板固接，设置于该第二转接区域的该支撑件是与该底板及该第二侧板固接。

由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，沉积罩更包含二连接板，是分别设置于该底板、该第一侧板与该第二侧板之间，且该二连接板是分别固接于该底板、该第一侧板与该第二侧板。其中，该底板与该二连接板之间分别具有一夹角，该夹角的角度是介于90度至175度；较佳者，该夹角的角度为135.7度。

由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，该第一侧板及该第二侧板与该二连接板之间分别具有一夹角，该夹角的角度大于90度且小于175度；较佳者，该夹角的角度为135.7度。

由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，该些支撑件各具有一支撑斜边，该底板与该支撑斜边之间是具有一夹角，该夹角大于90度且小于175度；较佳者，该夹角的角度为135.7度。

由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，该些支撑件各具有一支撑斜边，该第一侧板及该第二侧板与该些支撑件的该支撑斜边之间各具有一夹角，该夹角的角度大于90度且小于175度；较佳者，该夹角的角度为135.7度。

由上述必要技术手段所衍生的一附属技术手段为，该底板、该第一侧板与该第二侧板之间是用以容置一等离子体源组件；较佳者，该等离子体源组件为石英管。