[实用新型]沉积罩有效
| 申请号： | 201520833328.1 | 申请日： | 2015-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN205088303U | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 吕建伟;阙嘉良;王超;吴以伟 | 申请（专利权）人： | 旺能光电(吴江)有限公司;新日光能源科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/513 | 分类号： | C23C16/513 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张福根;冯志云 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 沉积 | ||
1.一种沉积罩，其特征在于，包含：
一底板，沿一长度方向延伸，并具有沿所述长度方向延伸的一第一侧边与一第二侧边；
一第一侧板，从所述第一侧边处沿垂直于所述长度方向延伸的一第一侧向延展方向延伸至一第一侧板侧边，并在与所述第一侧边相连接处形成一第一转接区域；
一第二侧板，从所述第二侧边处沿垂直于所述长度方向延伸的一第二侧向延展方向延伸至一第二侧板侧边，并在与所述第二侧边相连接处形成一第二转接区域；
一第一出气板，自所述第一侧板侧边背向所述第二侧板侧边延伸出，所述第一出气板包含多个第一通气孔；
一第二出气板，自所述第二侧板侧边背向所述第一侧板侧边延伸出，所述第二出气板包含多个第二通气孔；以及
多个支撑件，分别设置于所述第一转接区域以及所述第二转接区域，其中设置于所述第一转接区域的所述支撑件与所述底板及所述第一侧板固接，设置于所述第二转接区域的所述支撑件与所述底板及所述第二侧板固接。
2.根据权利要求1所述的沉积罩，其特征在于，还包含二连接板，分别设置于所述底板、所述第一侧板与所述第二侧板之间，且所述二连接板分别固接于所述底板以及所述第一侧板与所述第二侧板。
3.根据权利要求2所述的沉积罩，其特征在于，所述底板与所述二连接板之间分别具有一夹角，所述夹角的角度介于90度至175度。
4.根据权利要求3所述的沉积罩，其特征在于，所述夹角的角度为135.7度。
5.根据权利要求2所述的沉积罩，其特征在于，所述第一侧板及所述第二侧板与所述二连接板之间分别具有一夹角，所述夹角的角度大于90度且小于175度。
6.根据权利要求5所述的沉积罩，其特征在于，所述夹角的角度为135.7度。
7.根据权利要求1所述的沉积罩，其特征在于，所述多个支撑件各具有一支撑斜边，所述底板与所述支撑斜边之间具有一夹角，所述夹角的角度大于90度且小于175度。
8.根据权利要求7所述的沉积罩，其特征在于，所述夹角的角度为135.7度。
9.根据权利要求1所述的沉积罩，其特征在于，所述多个支撑件各具有一支撑斜边，所述第一侧板、所述第二侧板与所述多个支撑件的所述支撑斜边之间各具有一夹角，所述夹角的角度大于90度且小于175度。
10.根据权利要求9所述的沉积罩，其特征在于，所述夹角的角度为135.7度。
11.根据权利要求1所述的沉积罩，其特征在于，所述底板、所述第一侧板与所述第二侧板之间容置一等离子体源组件。
12.根据权利要求11所述的沉积罩，其特征在于，所述等离子体源组件为石英管。
13.根据权利要求1所述的沉积罩，其特征在于，所述多个支撑件与所述第一侧板或所述第二侧板间的接面长度介于15mm至50mm。
14.根据权利要求13所述的沉积罩，其特征在于，所述多个支撑件与所述第一侧板或所述第二侧板固接的接面长度介于25mm至30mm。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
