[实用新型]一种用于晶圆目检的显微镜

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种用于晶 圆目检的显微镜。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆 形，故称为晶圆。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构，而成 为有特定电性功能之IC产品。加工好的晶圆需要使用显微镜做外观 检验。显微镜检验晶圆前,为防止晶圆放入显微镜载物台时,显微镜物 镜镜头刮伤晶圆,要求显微镜载物台必须降到最低点,显微镜的物镜 的倍率调为最低50x,后将载物台移至最右端,将晶圆放入载物台,重 新将载物台移入物镜下,调整显微镜的倍数,焦距，方可开始检验动 作。但是这种操作，动作要求过多,作业人员容易忘记将载物台降到 最低点,或物镜倍数未调整,晶圆倾斜放入载物台,晶面会与物镜碰触, 对晶面造成刮伤甚至破片。

实用新型内容

本实用新型的目的针对上述现有技术的问题，提供一种用于晶圆 目检的显微镜，通过在显微镜的载物台上安装有可拆卸的带有平行卡 槽的不锈钢底座，含有框架的晶圆从载物台右端平行插入底座上的卡 槽中，不仅可以有效预防物镜对晶圆造成刮伤，而且晶圆放入动作符 合人体工学原理，操作简单、方便易行。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种用于晶圆目检的显微镜，包括目镜、物镜、载物台，所述目 镜与物镜通过筒体连接，所述筒体通过支架与载物台相连接，所述载 物台上安装有底座，所述底座为可拆卸底座，所述底座的两边带有平 行卡槽，有含有框架的晶圆从载物台右端平行插入底座上的卡槽中。

进一步地，所述底座为不锈钢板底座。

进一步地，所述底座粘贴在载物台上。

进一步地，所述载物台上安装有粗调台。

进一步地，所述粗调台上安装有粗调杆。

进一步地，所述载物台上安装有微调台。

进一步地，所述微调台上安装有微调杆。

本实用新型的有益效果：一种用于晶圆目检的显微镜，通过在显 微镜的载物台上安装有可拆卸的带有平行卡槽的不锈钢底座，含有框 架的晶圆从载物台右端平行插入底座上的卡槽中，不仅可以有效预防 物镜对晶圆造成刮伤，而且晶圆放入动作符合人体工学原理，操作简 单、方便易行。

附图说明

图1为本实用新型用于目检的显微镜结构图；

相关元件符号说明：

1、目镜；2、物镜；3、底座；4、微调台；5、粗调台；6、粗调 杆；7、微调杆；8、筒体；9、支架；10、载物台。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效 易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

具体实施时，结合图1，一种用于晶圆目检的显微镜，包括目镜 1、物镜2、底座3、筒体8、支架9、载物台10。目镜1与物镜2通 过筒体8连接，筒体8通过支架9与载物台10相连接。载物台10上 安装有底座3，底座3为可拆卸底座，底座的两边带有平行卡槽，有 含有框架的晶圆从载物台右端平行插入底座上的卡槽中。

底座3可以为不锈钢板底座。底座可以粘贴在载物台上。

为了便于载物台的位置调节，载物台上安装有微调台4和粗调台 5。为了便于手动操作微调台和粗调台，在粗调台5上安装有粗调杆 6，在微调台4上安装有微调杆7。

晶圆检测时，将带有框架的晶圆从载物台右端平行插入底座上的 卡槽中，即可保证晶圆在放入载物台时不会与显微镜的物镜发生撞 击，对晶圆造成刮伤，而且晶圆放入动作符合人体工学原理，操作简 单、方便易行。

上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描 述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型 设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的 各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围。