[实用新型]一种用于晶圆目检的显微镜有效
| 申请号： | 201520828876.5 | 申请日： | 2015-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN205176374U | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 沈顺金 | 申请（专利权）人： | 安徽超元半导体有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/26 | 分类号： | G02B21/26;G02B21/24;G02B21/34 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶圆目检 显微镜 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶圆目检的显微镜，包括目镜、物镜、载物台，所 述目镜与物镜通过筒体连接，所述筒体通过支架与载物台相连接，其 特征在于：所述载物台上安装有底座，所述底座为可拆卸底座，所述 底座的两边带有平行卡槽，有含有框架的晶圆从载物台右端平行插入 底座上的卡槽中。
2.按照权利要求1所述的一种用于晶圆目检的显微镜，其特征 在于：所述底座为不锈钢板底座。
3.按照权利要求2所述的一种用于晶圆目检的显微镜，其特征 在于：所述底座粘贴在载物台上。
4.按照权利要求1所述的一种用于晶圆目检的显微镜，其特征 在于：所述载物台上安装有粗调台。
5.按照权利要求4所述的一种用于晶圆目检的显微镜，其特征 在于：所述粗调台上安装有粗调杆。
6.按照权利要求1所述的一种用于晶圆目检的显微镜，其特征 在于：所述载物台上安装有微调台。
7.按照权利要求6所述的一种用于晶圆目检的显微镜，其特征 在于：所述微调台上安装有微调杆。
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