[实用新型]半导体设备的上盖板胶圈检漏装置有效
| 申请号： | 201520816547.9 | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN205079911U | 公开（公告）日： | 2016-03-09 |
| 发明（设计）人： | 马壮;朱佳奇 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 李绪岩 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体设备 盖板 胶圈 检漏 装置 | ||
【权利要求书】：
1.半导体设备的上盖板胶圈检漏装置，其特征在于：包括管接头，喷头上板，陶瓷环，压板和底板；管接头固定在喷头上板上端的中心处并连接检漏仪，陶瓷环设置在喷头上板和压板之间，底板设置在压板的下面，待检胶圈放置在底板的凹槽内。
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