[实用新型]一种硅片切割机用切削液去水结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片切割机配件，尤其涉及一种硅片切割机用切削液去水结构。

背景技术

硅片切割中砂浆在线回收技术在国内开始兴起，越来越多的厂家开始自己购买设备自己回收砂浆，但回收的切削液中水分会随着回收次数增加而增加，虽然不同机型对切削液水含量的上限要求不同，但切削液中水的含量越低产品合格率越高。现在许多专门做回收砂浆的厂家用的都是蒸馏设备，对分离出来的切削液进行蒸馏，但现有的蒸馏设备价格比较昂贵，并且热能利用率低，浪费严重，耗时较长，对于重点做硅片生产的中小型企业买这种设备不实际。

现有技术中用于硅片切割机的切削液去水装置结构复杂并且生产成本高，另外，现有技术中切削液去水装置的去水效率低，供入的切削液统一在一个蒸馏室内去水，而蒸馏室由于体积较大，因此位于蒸馏室内的切削液温升比较缓慢，从而造成现有技术中的切削液去水装置去水效率低。

发明内容

本实用新型提供的一种硅片切割机用切削液去水结构，旨在克服现有技术中硅片切割机用切削液去水装置去水效率低的不足。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种硅片切割机用切削液去水结构，包括供水管道、预热箱、分流箱和至少两个加热箱，所述供水管道与预热箱相通，所述预热箱与分流箱相通，所述分流箱内设有将分流箱内的切削液分出至少两条支流的分流阀，每条支流上均设有加热箱，所述加热箱上设有排汽管和排水管，所述排汽管和排水管均与加热箱相通；所述预热箱内分别设有加热汽管和加热水管，所述加热汽管和加热水管均盘绕在预热箱内，所述排汽管均与加热汽管相通，所述排水管均与加热水管相通，所述预热箱上设有与加热汽管相通的排汽嘴，所述预热箱上还设有与加热水管相通的排水嘴，所述预热箱上还设有与供水管道相通的供水口，所述预热箱与分流箱之间通过输水管相通，所述预热箱上还设有与输水管相接的输水嘴，所述输水嘴的水平高度高于供水口的水平高度；所述加热箱内设有加热体。

上述构成中，通过设置分流阀将分流箱内的切削液分出至少两条支流，在每条支流上均设有加热箱，由供水管道供入的切削液经分流后再由加热箱对其加热，每个加热箱仅加热一条支流上的切削液，以对该支流上的切削液进行去水处理，由于每个加热箱仅加热一条支流上的切削液，因此，相对于现有技术，上述技术方案大大提高了切削液的去水效率。

所述预热箱上在位供水口处还设有挡水板，所述挡水板通过支架固定在预热箱上，所述挡水板与支架通过焊接方式固定在一起，所述支架通过螺钉固定在预热箱上。在供水口处设置挡水板，由供水口供入的切削液会冲向挡水板，挡水板起到缓冲的作用，避免供水口供入的切削液直接冲击预热箱内原有的切削液，使得切削液可以在预热箱内进行沉淀，提高了切削液的水质。

所述输水管上包裹有至少一层保温层；所述预热箱上粘接有至少一层保温板。输水管和预热箱内的切削液都是经过预热的，因此，位于预热箱和输水管内的切削液温度都高于常温，保温层和保温板起到保温的效果，减小了切削液在预热箱和输水管内的热量损失。

一种可选的方案，所述加热汽管和加热水管上均设有导热柱。导热柱增大了加热汽管、加热水管与预热箱内切削液的热交换面积，提高了加热汽管、加热水管的预热效率。

一种可选的方案，所述加热体上设有至少一根加热柱，所述加热柱与加热体为一体式结构。加热柱增大了加热体与加热箱内切削液的热交换面积，提高了加热箱的加热效率。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种硅片切割机用切削液去水结构，具有如下优点：包括预热箱、分流箱、分流阀和至少两个加热箱，切削液经预热箱预热，然后进入分流箱被分流阀分出至少两条支流，每条支流上均设置加热箱，预热后的切削液分流后再进行加热，大大提高了切削液去水结构的去水效率；

另外，排汽管与加热汽管相通、排水管与加热水管相通，而加热汽管和加热水管均盘绕在预热箱内，由加热箱排出的水蒸汽、加热后的切削液被引至加热汽管和加热水管内，并对预热箱内的切削液进行预热，节约了能源；同时，在对预热箱内的切削液进行预热时，加热汽管内的水蒸汽和加热水管内的切削液会被位于预热箱内的切削液降温，由排汽嘴和排水嘴排出的水蒸汽、切削液温度低，不会烫伤技术人员。

附图说明

附图1是本实用新型一种硅片切割机用切削液去水结构的示意图；

附图2是附图1中A-A处剖视图；

附图3是本实用新型一种硅片切割机用切削液去水结构中加热箱的剖视图。

具体实施方式