[实用新型]一种硅片切割机用切削液去水结构

权利要求书

1.一种硅片切割机用切削液去水结构，其特征在于：包括供水管道(1)、预热箱(2)、分流箱(3)和至少两个加热箱(4)，所述供水管道(1)与预热箱(2)相通，所述预热箱(2)与分流箱(3)相通，所述分流箱(3)内设有将分流箱(3)内的切削液分出至少两条支流的分流阀(5)，每条支流上均设有加热箱(4)，所述加热箱(4)上设有排汽管(6)和排水管(7)，所述排汽管(6)和排水管(7)均与加热箱(4)相通；所述预热箱(2)内分别设有加热汽管(8)和加热水管(9)，所述加热汽管(8)和加热水管(9)均盘绕在预热箱(2)内，所述排汽管(6)均与加热汽管(8)相通，所述排水管(7)均与加热水管(9)相通，所述预热箱(2)上设有与加热汽管(8)相通的排汽嘴(10)，所述预热箱(2)上还设有与加热水管(9)相通的排水嘴(11)，所述预热箱(2)上还设有与供水管道(1)相通的供水口(12)，所述预热箱(2)与分流箱(3)之间通过输水管(13)相通，所述预热箱(2)上还设有与输水管(13)相接的输水嘴(14)，所述输水嘴(14)的水平高度高于供水口(12)的水平高度；所述加热箱(4)内设有加热体(15)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液去水结构，其特征在于：所述预热箱(2)上在位供水口(12)处还设有挡水板(16)，所述挡水板(16)通过支架(17)固定在预热箱(2)上，所述挡水板(16)与支架(17)通过焊接方式固定在一起，所述支架(17)通过螺钉固定在预热箱(2)上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液去水结构，其特征在于：所述输水管(13)上包裹有至少一层保温层；所述预热箱(2)上粘接有至少一层保温板(18)。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的一种硅片切割机用切削液去水结构，其特征在于：所述加热汽管(8)和加热水管(9)上均设有导热柱(19)。

5.根据权利要求1至3任意一项所述的一种硅片切割机用切削液去水结构，其特征在于：所述加热体(15)上设有至少一根加热柱(20)，所述加热柱(20)与加热体(15)为一体式结构。