[实用新型]一种机械手臂有效
申请号: | 201520739022.X | 申请日: | 2015-09-22 |
公开(公告)号: | CN205291001U | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 方鑫;许青峰;桂纯钦;张旭升;朱骏;吕煜坤 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | B25J18/00 | 分类号: | B25J18/00 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 机械 手臂 | ||
技术领域
本实用新型涉及机自动控制领域,尤其涉及一种机械手臂。
背景技术
现有的机械手臂上有三个专用于与硅片接触的部件,该部件为特殊材质,可以保证与硅片接触时不影响硅片的品质,且保证硅片在手臂运动时不会产生滑动。如果没有这三个特殊材质的部件,手臂直接接触到硅片,由于材料的原因会影响到硅片的品质,且在手臂运行过程中硅片存在掉落的危险。所以用于与硅片接触的特殊部件极其重要。
如图1所示的现有硅片接触部件2的固定方式中,其采用的方式是以胶水黏贴的方式固定垫片3与硅片接触的接触部件2。机械手臂本体1的凹槽中固定有垫片3,由于接触部件2与垫片3之间是以面与面直接黏贴的方式,从而可能导致接触部件2与垫片3之间由于摩擦力不足或是因为在传送过程中出现的抖动与摇动而导致接触部件2脱落从而影响生产。
实用新型内容
针对现有的硅片倒片机机械手臂,本实用新型提供了一种不影响硅片的品质,且保证硅片在手臂运动时不会产生滑动的一种改良机械手臂。
具体的技术方案为:
一种机械手臂,其中,包括:
机械手臂本体,带有本体凹槽;
垫片,固定在机械手臂本体的所述本体凹槽内,带有一个垫片凹槽;
接触部件,通过一个螺丝与垫片紧密连接。
优选地,上述的一种机械手臂,其中,所述接触部件环绕式内嵌于所述垫片凹槽内。
优选地,上述的一种机械手臂,其中,还包括一调节装置,设置于所述机械手臂本体上,用以调节所述垫片凹槽的之间的间距。
优选地,上述的一种机械手臂,其中,在所述垫片凹槽内设置有螺纹,所述垫片与所述接触部件螺纹连接。
优选地,上述的一种机械手臂,其中,在所述垫片凹槽内设置有扣槽,所述垫片与所述接触部件卡扣连接。
优选地,上述的一种机械手臂,其中,所述垫片的材料为磁铁,所述接触部件被磁力吸附在所述垫片凹槽内。
优选地,上述的一种机械手臂,其中,所述接触部件带有一个卡子。
优选地,上述的一种机械手臂,其中,所述垫片材料为磁铁,所述接触部件的材料为能被磁铁吸引的材料。
优选地,上述的一种机械手臂,其中,所述卡子为弹性材料。
优选地,上述的一种机械手臂,其中,所述卡子带有一个联动按钮。
与现有技术相比,本实用新型的优点是:通过更加可靠的连接方式连接接触部件与垫片,使得接触部件在生产过程中不容易脱落,提高设备的安全系数。
附图说明
图1为现有技术硅片倒片机机械手臂的主视图。
图2为本实用新型机械手臂的一个实施例的主视图。
图3为本实用新型机械手臂的一个实施例的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进行进一步说明。
图2为本实用新型一种机械手臂的一个实施例的主视图,图3为本实用新型硅片倒片机机械手臂的一个实施例的俯视图。
如图2、图3所示,一种硅片机械手臂,包括,机械手臂本体6、垫片8、接触部件7。
机械手臂本体6末端为U型机构,形成机械手的形状。机械手臂本体6上带有本体凹槽7用于固定容纳垫片8。机械手臂本体6上带有一个螺丝孔11,用于固定接触部件7。接触部件7与垫片8紧密连接,用于接触硅片产品。本体凹槽10的深度应有所限制,不可过深以破坏凹槽底部刚性或使得接触部件7没能从凹槽中伸出有效长度,也不可过浅而导致固定垫片8的螺丝孔11的上部过薄以破坏上部刚性。
本实用新型的原理是:通过更加可靠的连接方式连接接触部件7与垫片8,以解决接触部件7在生产过程中易脱落的问题。
一个优选的实施例,接触部件7环绕式内嵌于垫片8,垫片凹槽9的尺寸必须略微小于接触部件7,以保证接触部件7受到足够的紧固力。接触部件7通过用力按压的方式嵌入垫片凹槽9的最底部。
一个优选的实施例,垫片凹槽9的间距可以通过垫片8的一个可旋调节器来调节。该调节器贯穿垫片8的侧壁,伸出时可顶住接触部件7。
一个优选的实施例,垫片凹槽9内设置有螺纹,所述垫片8与接触部件7螺纹连接。接触部件7与垫片凹槽9有能够相互啮合的螺纹,这要求垫片8拥有一定的厚度,使得螺纹长度尽量长。
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