[实用新型]组合型吸笔有效
申请号: | 201520715049.5 | 申请日: | 2015-09-15 |
公开(公告)号: | CN205016505U | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 袁中存;党继东 | 申请(专利权)人: | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 陆金星 |
地址: | 224000 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组合 型吸笔 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片生产领域,特别是一种用于取放电池片硅片的组合型吸笔。
背景技术
现有技术中,为了防止手上的汗渍、污渍等污染硅片表面,太阳能电池硅片制造过程中通常使用真空吸笔移动硅片,参见附图1所示,现有技术中的真空吸笔包括笔杆2,笔杆2的内开设有气流通道,气流通道的一端开放于真空吸笔的作用端,通常连接一吸盘3,笔杆2上设置有气流控制口1,用于控制气流通道内气流的大小,以控制真空吸笔的吸力。但是,使用这种真空吸笔移动硅片,每次只能够移动一片硅片,严重影响了工作效率。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种能够一次移动多片太阳能电池硅片的组合型吸笔。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种组合型吸笔,包括至少1根支撑杆,支撑杆内开设有气道,支撑杆一端封闭,另一端设有气流控制口,沿支撑杆轴向间隔设置有至少2支吸笔,各吸笔笔杆内的气流通道与所述支撑杆内的气道连通;各吸笔的作用端位于同一平面;
以所述气流控制口为基准,沿所述支撑杆轴向由近及远,所述笔杆内气流通道的直径及吸笔作用端进气口的直径两者中至少一者呈递增设置。
上文中,所述笔杆内气流通道的直径及吸笔作用端进气口的直径两者中至少一者呈递增设置,即远离气流控制口的笔杆内气流通道的直径越来越大、或吸笔作用端进气口的直径直径越来越大(或两者组合设置),这样做的目的是使不同距离的吸笔保持相同的吸片效果。
所述组合型吸笔可以用于板式PECVD上镀膜机台。通过本实用新型的改进之后,每次手动收电池片的数量从1片增加到了10片或10片以上,具体数量由实际使用的支撑杆的数量而定,明显增加了PECVD镀膜后的收片速度。
上述技术方案中,所述支撑杆的数量为2根,所有支撑杆内的气道汇聚至同一气流控制口。
上述技术方案中,所述气流控制口处连接一手柄。
上述技术方案中,以所述气流控制口为基准,沿所述支撑杆轴向由近及远,所述笔杆内气流通道的直径呈递增设置,各吸笔作用端进气口的直径相同。
进一步地,所述气流通道的直径与其与气流控制口之间的距离成正比。
上述技术方案中,以所述气流控制口为基准,沿所述支撑杆轴向由近及远,所述吸笔作用端进气口的直径呈递增设置,各笔杆内气流通道的直径相同。
进一步地,所述吸笔作用端进气口的直径与其与气流控制口之间的距离成正比。
上述技术方案中,以所述气流控制口为基准,沿所述支撑杆轴向由近及远,所述吸笔作用端进气口的直径及笔杆内气流通道的直径均呈递增设置。
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
1.本实用新型将多支吸笔设于同一支撑杆上,并根据吸笔与气流控制口的距离设置吸笔作用端上进气口的直径及笔杆内气流通道的直径,以此使得各吸笔作用端的吸力均相同;各吸笔之间的间隔可根据实际需要进行设置,吸笔及支撑杆的数量也可根据实际需要进行设定,本实用新型一次性可移动多片太阳能电池硅片,大大提高了工作效率;
2.本实用新型的结构简单,成本较低,适于推广应用。
附图说明
图1为现有技术中真空吸笔结构示意图。
图2为本实用新型实施例一的结构示意图。
图3为本实用新型实施例二的结构示意图。
其中:1、气流控制口;2、笔杆;3、吸盘;4、支撑杆;5、手柄。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:
实施例一:
参见图2所示,一种组合型吸笔,包括2根支撑杆4,支撑杆4内开设有气道,支撑杆4一端封闭,另一端设有气流控制口1,沿支撑杆4轴向间隔设置有5支吸笔,各吸笔笔杆2内的气流通道与所述气道连通,各吸笔的头部设有一吸盘3作为作用端,各作用端位于同一平面;
以所述气流控制口1为基准,沿所述支撑杆4轴向由近及远,所述吸盘3进气口的直径呈递增设置,各笔杆2内气流通道的直径相同。
所述吸盘3进气口的直径与其与气流控制口1之间的距离成正比,比如:各吸笔之间的间隔相同,距离气流控制口1最远的吸盘进气口直径为a,则由远及近的吸盘进气口直径依次为a*4/5、a*3/5、a*2/5、a*1/5。
所述支撑杆4的数量为两根,所有支撑杆4内的气道汇聚至同一气流控制口1。
所述气流控制口1处连接一手柄5。
实施例二:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造