[实用新型]组合型吸笔有效
申请号: | 201520715049.5 | 申请日: | 2015-09-15 |
公开(公告)号: | CN205016505U | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 袁中存;党继东 | 申请(专利权)人: | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人: | 陆金星 |
地址: | 224000 江苏省盐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 组合 型吸笔 | ||
1.一种组合型吸笔,其特征在于:包括至少1根支撑杆,支撑杆内开设有气道,支撑杆一端封闭,另一端设有气流控制口,沿支撑杆轴向间隔设置有至少2支吸笔,各吸笔笔杆内的气流通道与所述支撑杆内的气道连通;各吸笔的作用端位于同一平面;
以所述气流控制口为基准,沿所述支撑杆轴向由近及远,所述笔杆内气流通道的直径及吸笔作用端进气口的直径两者中至少一者呈递增设置。
2.根据权利要求1所述的组合型吸笔,其特征在于:所述支撑杆的数量为2根,所有支撑杆内的气道汇聚至同一气流控制口。
3.根据权利要求1所述的组合型吸笔,其特征在于:所述气流控制口处连接一手柄。
4.根据权利要求1所述的组合型吸笔,其特征在于:以所述气流控制口为基准,沿所述支撑杆轴向由近及远,所述笔杆内气流通道的直径呈递增设置,各吸笔作用端进气口的直径相同。
5.根据权利要求4所述的组合型吸笔,其特征在于:所述气流通道的直径与其与气流控制口之间的距离成正比。
6.根据权利要求1所述的组合型吸笔,其特征在于:以所述气流控制口为基准,沿所述支撑杆轴向由近及远,所述吸笔作用端进气口的直径呈递增设置,各笔杆内气流通道的直径相同。
7.根据权利要求6所述的组合型吸笔,其特征在于:所述吸笔作用端进气口的直径与其与气流控制口之间的距离成正比。
8.根据权利要求1所述的组合型吸笔,其特征在于:以所述气流控制口为基准,沿所述支撑杆轴向由近及远,所述吸笔作用端进气口的直径及笔杆内气流通道的直径均呈递增设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造