[实用新型]一种压力传感器

说明书

技术领域

本实用新型属于传感器应用技术领域，特别是涉及一种压力传感器。

背景技术

传感器是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。

传感器的特点包括：微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的存在和发展，让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官，让物体慢慢变得活了起来。通常根据其基本感知功能分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大类。

其中，液体压力传感器内部使用基于硅基MEMS技术加工的压力传感器芯片，称为MEMS压力传感器芯片。在液体压力传感器中，当液体压力作用于MEMS压力传感器芯片上时，引起压力敏感膜片发生形变，压力敏感膜片上的压敏电阻由于压阻效应而产生电阻变化，从而导致压力感测元件中由压敏电阻组成的惠斯顿电桥产生电信号输出，实现了压力信号到电信号的转换。

但是，现有的压力传感器，无法完全隔离流体和传感器芯片，如果被测流体进入传感器芯片内部，则会慢慢腐蚀传感器内部的元件，造成传感器芯片损坏失效，降低传感器芯片的使用寿命。

因此，提供一种新的压力传感器是本领域技术人员需要解决的课题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种压力传感器，用于解决现有技术中流体压力的传感器无法完全隔离流体和传感器芯片，被测流体进入测试结构导致传感器失效的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种压力传感器，所述传感器至少包括：

底座，所述底座包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面设置有腔体，所述腔体底部设置有至少一个第一沟槽；

传感器芯片，安装在所述腔体底部并由所述第一沟槽环绕；

金属引线，一端设置在所述腔体底部中，另一端穿过所述底座设置在所述第二表面上，所述金属引线通过导线与所述传感器芯片电连接；

包封保护材料层，填充于所述腔体中，使所述传感器芯片、导线以及金属引线的一端与外界隔绝。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述腔体底部还设置有第二沟槽，所述第二沟槽由所述第一沟槽环绕。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述传感器芯片安装在所述第二沟槽的正中央。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述传感器还包括设置在所述腔体侧壁上的第三沟槽。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，在所述腔体的开口处设置一台阶，所述台阶上覆盖一用于密封所述腔体的弹性盖体。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述弹性盖体上设置有孔体。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述第一沟槽的纵截面为方形、梯形或者半圆形；所述第一沟槽的横截面为状为圆形或者方形。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述传感器芯片设置在所述腔体底部的正中央。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述金属引线对称分布在所述传感器芯片的两侧。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述金属引线一端设置在所述腔体底部，另一端斜向穿过所述底座设置在所述第二表面上，所述金属引线通过导线与所述传感器芯片电连接。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，由所述底座、包封保护材料层、传感器芯片、导线和金属引线构成的传感器为对称式结构。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述底座的材质为尼龙塑料或者陶瓷。

作为本实用新型压力传感器的一种优化的方案，所述包封保护材料层为硅胶或环氧胶。

如上所述，本实用新型的压力传感器，包括：底座，所述底座包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第一表面设置有腔体，所述腔体底部设置有至少一个第一沟槽；传感器芯片，安装在所述腔体底部并由所述第一沟槽环绕；金属引线，一端设置在所述腔体底部，另一端穿过所述底座设置在所述第二表面上，所述金属引线通过导线与所述传感器芯片电连接；包封保护材料层，填充于所述腔体中，使所述传感器芯片、导线以及金属引线的一端与外界隔绝。通过本实用新型腔体中的第一沟槽，使流体无法通过腔体侧壁的缝隙渗入传感器芯片的内部，进而延长了传感器的使用寿命；本实用新型整体结构简单，实用性强，易于推广使用。

附图说明