[实用新型]一种压力传感器有效
申请号: | 201520709139.3 | 申请日: | 2015-09-14 |
公开(公告)号: | CN204964102U | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
发明(设计)人: | 王东平;熊斌;王跃林 | 申请(专利权)人: | 苏州感芯微系统技术有限公司 |
主分类号: | G01L19/06 | 分类号: | G01L19/06 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 唐棉棉 |
地址: | 215121 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器,其特征在于,所述传感器至少包括:
底座,所述底座包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面,所述第一表面设置有腔体,所述腔体底部设置有至少一个第一沟槽;
传感器芯片,安装在所述腔体底部并由所述第一沟槽环绕;
金属引线,一端设置在所述腔体底部,另一端穿过所述底座设置在所述第二表面上,所述金属引线通过导线与所述传感器芯片电连接;
包封保护材料层,填充于所述腔体中,使所述传感器芯片、导线以及金属引线的一端与外界隔绝。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:所述腔体底部还设置有第二沟槽,所述第二沟槽由所述第一沟槽环绕。
3.根据权利要求2所述的压力传感器,其特征在于:所述传感器芯片安装在所述第二沟槽的正中央。
4.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:所述传感器还包括设置在所述腔体侧壁上的第三沟槽。
5.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:在所述腔体的开口处设置一台阶,所述台阶上覆盖一用于密封所述腔体的弹性盖体。
6.根据权利要求5所述的压力传感器,其特征在于:所述弹性盖体上设置有孔体。
7.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:所述第一沟槽的纵截面为方形、梯形或者半圆形;所述第一沟槽的横截面为圆形或者方形。
8.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:所述传感器芯片设置在所述腔体底部的正中央。
9.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:所述金属引线对称分布在所述传感器芯片的两侧。
10.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:所述金属引线一端设置在所述腔体底部,另一端斜向穿过所述底座设置在所述第二表面上,所述金属引线通过导线与所述传感器芯片电连接。
11.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:由所述底座、包封保护材料层、传感器芯片、导线和金属引线构成的传感器为对称式结构。
12.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:所述底座的材质为尼龙塑料或者陶瓷。
13.根据权利要求1所述的压力传感器,其特征在于:所述包封保护材料层为硅胶或环氧胶。
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