[实用新型]一种266nm的紫外脉冲固体激光器装置

说明书

技术领域

本申请涉及全固态激光领域，特别涉及一种266nm的紫外脉冲固体激光器装置。

背景技术

266nm紫外激光器由于具有窄的谱线宽度、大的相干长度、单纵模运行、小的光斑面积等优点而被广泛用作高密度光盘数据写入的光源，用于快速定型和微机械加工、相干激光检测、外科手术等。产生266nm脉冲激光输出通常是采用声光调制的方式实现脉冲输出，但是采用声光调制的方式，使激光器的设计复杂、坚固性差且成本高。

发明内容

本实用新型提供一种结构简单、系统体积小、坚固而且成本低的266nm的紫外脉冲固体激光器。

一种266nm的紫外脉冲固体激光器装置，包括泵浦源、光学耦合系统、掺钕离子激光晶体、掺Cr离子激光晶片、输出镜、凸透镜、KTP倍频晶体、聚焦透镜、BBO倍频晶体、分光棱镜，其特征在于：所述掺钕离子激光晶体长度为3.0mm，其前端面镀808nmHT/1064nmHR膜，作为谐振腔的一个镜面，另一面镀1064nmHT膜；所述泵浦源发出的激光通过光学耦合系统耦合至增益介质掺钕离子激光晶体上，掺Cr离子激光晶片为被动调Q元件，紧贴Nd:YAG晶体放置，在掺钕离子激光晶体与输出镜形成的谐振腔中振荡并在输出镜一端输出1064nm的脉冲基频光；1064nm的激光耦合至KTP倍频晶体实现腔外倍频输出532nm的绿光，再经过BBO倍频晶体获得266nm的激光，所述掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、KTP倍频晶体及BBO倍频晶体的表面包裹铟膜后，在周围分别设置紫铜散热装置，所述紫铜散热装置分别紧贴掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、KTP倍频晶体及BBO倍频晶体周围设置，通过分光棱镜获得266nm的紫外脉冲激光。

所述掺钕离子激光晶体采用Nd:YAG晶体，通过调整制冷器温控电流使所述泵浦源的发射波长为808.5nm，与Nd:YAG晶体的吸收峰相匹配。

所述光学耦合系统采用自聚焦透镜。

所述掺Cr离子激光晶片采用Cr⁴⁺:YAG晶片，厚度为1.4mm，紧贴Nd:YAG晶体放置，两面均镀1064nmHT膜。

所述输出镜为平凹镜，其凹面的曲率半径是50mm，其耦合输出率为15%，谐振腔的总长度为10mm。

所述凸透镜的焦距为75mm，所述聚焦透镜的焦距为27mm。

所述KTP倍频晶体的长度为9mm，BBO倍频晶体的长度为4mm。

本实用新型采用被动调Q装置实现脉冲激光输出，被动调Q是被激光辐射自身启动的，因此不需要高压、快速电光驱动器或射频调制器，使得激光器的结构设计简单、系统体积小、坚固，并且能够节约成本。

与Nd:YVO₄增益介质相比，Nd:YAG晶体具有导热性能好，较长的激光上能级寿命以及良好的机械性能等优点，特别是具有较长的激光上能级寿命，在调Q过程中，上能及储存的能量较大，非常适合作为被动调Q激光器的增益介质。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。