[实用新型]一种266nm的紫外脉冲固体激光器装置

权利要求书

1.一种266nm的紫外脉冲固体激光器装置，包括泵浦源、光学耦合系统、掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、输出镜、凸透镜、KTP倍频晶体、聚焦透镜、BBO倍频晶体、紫外滤光片，其特征在于：所述掺钕离子激光晶体长度为3.0mm，其前端面镀808nmHT/1064nmHR膜，作为谐振腔的一个镜面，另一面镀1064nmHT膜；所述泵浦源发出的激光通过光学耦合系统耦合至增益介质掺钕离子激光晶体上，掺Cr⁴⁺离子激光晶片为被动调Q元件，紧贴Nd:YAG晶体后面放置，输出镜放置在掺Cr⁴⁺离子激光晶片后面，所述掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片周围设置紫铜散热装置，所述紫铜散热装置紧贴掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片周围设置，掺钕离子激光晶体的一面与输出镜形成谐振腔并在输出镜一端输出1064nm的脉冲基频光；1064nm的激光耦合至KTP倍频晶体实现腔外倍频输出532nm的绿光，再经过BBO倍频晶体获得266nm的激光，所述掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、KTP倍频晶体及BBO倍频晶体周围分别设置紫铜散热装置，所述紫铜散热装置分别紧贴掺钕离子激光晶体、掺Cr⁴⁺离子激光晶片、KTP倍频晶体及BBO倍频晶体周围设置，通过分光棱镜进行分光以获得266nm的紫外脉冲激光。

2.如权利要求1所述的266nm的紫外脉冲固体激光器装置，所述掺钕离子激光晶体采用Nd:YAG晶体，通过调整制冷器温控电流使所述泵浦源的发射波长为808.5nm，与Nd:YAG晶体的吸收峰相匹配。

3.如权利要求1所述的266nm的紫外脉冲固体激光器装置，所述光学耦合系统采用自聚焦透镜。

4.如权利要求2所述的266nm的紫外脉冲固体激光器装置，所述掺Cr⁴⁺离子激光晶片采用Cr⁴⁺:YAG晶片，厚度为1.4mm，紧贴Nd:YAG晶体放置，两面均镀1064nmHT膜。

5.如权利要求1所述的266nm的紫外脉冲固体激光器装置，所述输出镜为平凹镜，其凹面的曲率半径是50mm，其耦合输出率为15%，谐振腔的总长度为10mm。

6.如权利要求1所述的266nm的紫外脉冲固体激光器装置，所述凸透镜的焦距为75mm，所述聚焦透镜的焦距为27mm。

7.如权利要求1所述的266nm的紫外脉冲固体激光器装置，所述KTP倍频晶体的长度为9mm，BBO倍频晶体的长度为4mm。