[实用新型]一种气体排放装置和刻蚀设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，具体地，涉及一种气体排放装置和刻蚀设备。

背景技术

在显示技术领域，传统的湿法刻蚀工艺所采用的废气排放装置如图1所示，包括酸液腔体8和水腔体9，酸液腔体8和水腔体9之间相互隔开，在隔开两腔体的隔板上开设有能使待刻蚀产品通过的口。刻蚀时，待刻蚀产品先在酸液腔体8中进行刻蚀，刻蚀完后从隔板上的口进入水腔体9中进行清洗。

通常，酸液腔体8和水腔体9上都连接有排气管道10，排气管道10能够将各自腔体中在处理过程中产生的废气排出腔体外，以免废气对刻蚀造成影响。排气管道10能对各自腔体内的废气进行排放并防止废气泄漏至外部环境中。但在废气排放过程中，由于酸液腔体8和水腔体9之间通过开设在隔板上的口连通，所以随着酸液腔体8和水腔体9中产生的废气压力的不同，两腔体中的废气会发生相互窜扰，如酸液腔体8中的酸废气11进入到水腔体9中，水腔体9中的水蒸气12进入酸液腔体8中，这会直接导致在酸液腔体8中的酸液浓度减小，从而导致对待刻蚀产品造成过刻；同时水腔体9中会掺杂进入酸液的成份，从而对待刻蚀产品在清洗过程中造成进一步过刻，严重影响刻蚀工艺的稳定性。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种气体排放装置和刻蚀设备。该气体排放装置能在气体排放过程中监测并调节第一腔体和第二腔体内的气体压力，以使第一腔体和第二腔体内的气体压力达到平衡，从而避免第一腔体和第二腔体内的气体发生窜扰，进而避免由气体窜扰所导致的第一腔体和第二腔体内的处理工艺出现不良，降低了产品的处理工艺风险，提升了产品的良率。

本实用新型提供一种气体排放装置，包括用于连接第一腔体并对其中的气体进行排放的第一管道和用于连接第二腔体并对其中的气体进行排放的第二管道，还包括监控调节单元，所述监控调节单元连接所述第一管道和所述第二管道，用于在气体排放过程中监测并调节所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力，以使所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力达到平衡。

优选地，所述监控调节单元包括监测子单元和调节子单元，所述监测子单元用于在气体排放过程中监测所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力差；所述调节子单元用于根据所述气体压力差对所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力进行调节。

优选地，所述监测子单元包括气压检测元件、第一连接管和第二连接管，所述第一连接管和所述第二连接管的一端分别连接所述气压检测元件，所述第一连接管的另一端连接所述第一管道，所述第二连接管的另一端连接所述第二管道，所述气压检测元件用于检测所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力差。

优选地，所述第一连接管和所述第二连接管的规格尺寸、长度以及材料均相同。

优选地，还包括第三管道，所述第三管道连接所述第一管道和所述第二管道，用于对所述第一管道和所述第二管道排放的气体进行总排放；

所述第一连接管和所述第一管道的连接位置与所述第一管道和所述第三管道的连接位置之间的第一距离等于所述第二连接管和所述第二管道的连接位置与所述第二管道和所述第三管道的连接位置之间的第二距离，且所述第一距离和所述第二距离均大于0。

优选地，所述第一连接管在所述第一管道的上侧壁与所述第一管道连接，所述第二连接管在所述第二管道的上侧壁与所述第二管道连接。

优选地，所述调节子单元包括第一开关元件和第二开关元件，所述第一开关元件设置在所述第一管道的出口处，用于开启或关闭所述第一管道，以使所述第一管道排气或不排气；所述第二开关元件设置在所述第二管道的出口处，用于开启或关闭所述第二管道，以使所述第二管道排气或不排气。

优选地，所述调节子单元还包括采集模块和控制模块，所述采集模块连接所述监测子单元和所述控制模块，用于采集气体压力差信号，并将所述气体压力差信号发送至所述控制模块；所述控制模块连接所述第一开关元件和所述第二开关元件，所述控制模块用于根据所述气体压力差信号控制所述第一开关元件和所述第二开关元件的开启和关闭。

优选地，还包括三通连接件，所述三通连接件连接在所述第一管道、所述第二管道和所述第三管道的连接处，所述三通连接件能使所述第一管道和所述第二管道分别与所述第三管道连通；

所述三通连接件的底部设置有凹槽，所述凹槽中开设有孔，所述孔用于连接液体排放管道，所述凹槽中的液体能通过所述孔流入到所述液体排放管道中。

本实用新型还提供一种刻蚀设备，包括上述气体排放装置。