[实用新型]一种气体排放装置和刻蚀设备

权利要求书

1.一种气体排放装置，包括用于连接第一腔体并对其中的气体进行排放的第一管道和用于连接第二腔体并对其中的气体进行排放的第二管道，其特征在于，还包括监控调节单元，所述监控调节单元连接所述第一管道和所述第二管道，用于在气体排放过程中监测并调节所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力，以使所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力达到平衡。

2.根据权利要求1所述的气体排放装置，其特征在于，所述监控调节单元包括监测子单元和调节子单元，所述监测子单元用于在气体排放过程中监测所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力差；所述调节子单元用于根据所述气体压力差对所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力进行调节。

3.根据权利要求2所述的气体排放装置，其特征在于，所述监测子单元包括气压检测元件、第一连接管和第二连接管，所述第一连接管的一端和所述第二连接管的一端分别连接所述气压检测元件，所述第一连接管的另一端连接所述第一管道，所述第二连接管的另一端连接所述第二管道，所述气压检测元件用于检测所述第一腔体和所述第二腔体内的气体压力差。

4.根据权利要求3所述的气体排放装置，其特征在于，所述第一连接管和所述第二连接管的规格尺寸、长度以及材料均相同。

5.根据权利要求4所述的气体排放装置，其特征在于，还包括第三管道，所述第三管道连接所述第一管道和所述第二管道，用于对所述第一管道和所述第二管道排放的气体进行总排放；

所述第一连接管和所述第一管道的连接位置与所述第一管道和所述第三管道的连接位置之间的第一距离等于所述第二连接管和所述第二管道的连接位置与所述第二管道和所述第三管道的连接位置之间的第二距离，且所述第一距离和所述第二距离均大于0。

6.根据权利要求5所述的气体排放装置，其特征在于，所述第一连接管在所述第一管道的上侧壁与所述第一管道连接，所述第二连接管在所述第二管道的上侧壁与所述第二管道连接。

7.根据权利要求2所述的气体排放装置，其特征在于，所述调节子单元包括第一开关元件和第二开关元件，所述第一开关元件设置在所述第一管道的出口处，用于开启或关闭所述第一管道，以使所述第一管道排气或不排气；所述第二开关元件设置在所述第二管道的出口处，用于开启或关闭所述第二管道，以使所述第二管道排气或不排气。

8.根据权利要求7所述的气体排放装置，其特征在于，所述调节子单元还包括采集模块和控制模块，所述采集模块连接所述监测子单元和所述控制模块，用于采集气体压力差信号，并将所述气体压力差信号发送至所述控制模块；所述控制模块连接所述第一开关元件和所述第二开关元件，所述控制模块用于根据所述气体压力差信号控制所述第一开关元件和所述第二开关元件的开启和关闭。

9.根据权利要求5所述的气体排放装置，其特征在于，还包括三通连接件，所述三通连接件连接在所述第一管道、所述第二管道和所述第三管道的连接处，所述三通连接件能使所述第一管道和所述第二管道分别与所述第三管道连通；

所述三通连接件的底部设置有凹槽，所述凹槽中开设有孔，所述孔用于连接液体排放管道，所述凹槽中的液体能通过所述孔流入到所述液体排放管道中。

10.一种刻蚀设备，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的气体排放装置。