[实用新型]一种石墨舟定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池自动化设备的固定机构的技术领域，更具体地说，是涉及一种用于管式PECVD的石墨舟自动装卸片设备中的石墨舟定位装置。

背景技术

PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)-等离子体增强化学气相沉积法,是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。

石墨舟是石墨模具，石墨模具本身是一种载体，可以把需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成的。所以石墨模具有时成为石墨舟，也有称为石墨船的。

石墨舟作为硅片载体电极，硅片必须放置在石墨舟上才能进行镀膜工艺。在硅太阳能电池制造过程中，在进行硅片表面镀膜时，首先将未镀膜的硅片插入到石墨舟中，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备(简称PECVD设备)腔体中，采用合适的PECVD工艺对硅片进行镀膜。镀膜结束后，从真空镀膜设备腔体中取出石墨舟然后再将镀膜的硅片从石墨舟取下来。

现有PECVD真空镀膜工序之前或之后都会用到石墨舟。在石墨舟定位后对其上的硅片进行装卸。现有的石墨舟传输定位主要有以下特点：石墨舟的输送多采用伺服马达，成本较高；石墨舟的定位采用较多的传感器，成本较高；石墨舟夹紧定位时采用气缸力直接作用在舟片上，容易损伤舟片。

基于以上问题，有必要设计一种新的石墨舟定位装置。

实用新型内容

本实用新型提供一种在石墨舟自动装卸片时将石墨舟精确定位和固定的定位装置。

本实用新型提供一种石墨舟定位装置，该定位装置包括：至少一承托机构，在竖直方向固定石墨舟，该承托机构包括：固定石墨舟的托板、承托气缸、至少一承托导杆，所述承托导杆一端与承托气缸连接，所述承托导杆另一端与所述托板连接；至少一X夹紧定位机构，与承托机构并列设置，X夹紧定位机构包括：与承托气缸平行设置的X定位气缸、至少一定位导杆，所述定位导杆一端与X定位气缸连接，所述定位导杆另一端与所述托板连接、套设在定位导杆上的固定环；至少一Y夹紧定位机构，包括：Y定位导轨、至少一Y定位夹紧气缸、至少一Y定位夹紧杆，与对应的连接Y定位夹紧气缸连接、限位装置，连接在Y定位导轨上。

其中，所述石墨舟定位装置还包括固定板，所述承托气缸、X定位气缸、Y定位夹紧气缸均固定在该固定板。

其中，所述承托机构还包括将承托导杆与所述固定板配合的承托轴承；所述X夹紧定位机构也包括将定位导杆与所述固定板配合的X直线轴承，所述固定环套设在定位导杆与X直线轴承的连接处。

其中，所述石墨舟定位装置还包括固定在托板上的第一框形板和第二框形板，所述承托导杆的一端部固定在第一框形板上，所述定位导杆的一端部固定在第二框形板上。

其中，所述承托机构包括连接在定位导杆一端部的承托连接件，所述承托连接件与所述X连接件平行且相邻设置。

其中，所述X夹紧定位机构还包括固定在所述托板上的定位夹紧板。

其中，所述X夹紧定位机构还包括固定在所述定位夹紧板上的至少一电极感应传感器。

其中，所述X夹紧定位机构还包括与X定位气缸连接的X压缩弹簧；所述Y夹紧定位机构，也包括与Y定位夹紧气缸的Y压缩弹簧。

其中，所述X夹紧定位机构还包括连接在X压缩弹簧和X定位气缸之间的X连接件；所述Y夹紧定位机构还包括连接在Y压缩弹簧和Y定位夹紧气缸之间的Y连接件。

其中，所述石墨舟定位装置还包括还包括检测部分，该检测部分包括多个传感器。

本实用新型首先通过承托机构将石墨舟在竖直方向(Z方向)固定，再通过X夹紧定位机构调节石墨舟在X方向的精度，Y夹紧定位机构调节石墨舟在Y方向的精度，承托结构、X夹紧定位机构、Y夹紧定位机构均通过气缸来固定调节，通过本定位装置在自动化设备中实现石墨舟的自动装卸片时，将石墨舟精确定位和固定。

附图说明

图1为本石墨舟定位装置的立体结构示意图；

图2为图1所示石墨舟定位装置的主视图；

图3为图1所示石墨舟定位装置的俯视图；

图4为图1所示石墨舟定位装置的右视图。

图中各序号所对应的标注名称如下：