[实用新型]一种石墨舟定位装置有效
| 申请号: | 201520602414.1 | 申请日: | 2015-08-12 |
| 公开(公告)号: | CN205011836U | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
| 发明(设计)人: | 王俊朝;刘兵吉;李军阳 | 申请(专利权)人: | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
| 代理公司: | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人: | 陈琳 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市南山区高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 石墨 定位 装置 | ||
1.一种石墨舟定位装置,其特征在于:该定位装置包括:
至少一承托机构,在竖直方向固定石墨舟,该承托机构包括:固定石墨舟的托板(3)、承托气缸(4)、至少一承托导杆(5),所述承托导杆(5)一端与承托气缸(4)连接,所述承托导杆(5)另一端与所述托板(3)连接;
至少一X夹紧定位机构,与承托机构并列设置,X夹紧定位机构包括:与承托气缸(4)平行设置的X定位气缸(8)、至少一定位导杆(9),所述定位导杆(9)一端与X定位气缸(8)连接,所述定位导杆(9)另一端与所述托板(3)连接、套设在定位导杆(9)上的固定环(10);
至少一Y夹紧定位机构,包括:Y定位导轨(15)、至少一Y定位夹紧气缸(16)、至少一Y定位夹紧杆(17),与对应的连接Y定位夹紧气缸(16)连接、限位装置(18),连接在Y定位导轨(15)上。
2.根据权利要求1所述的石墨舟定位装置,其特征在于:所述石墨舟定位装置还包括固定板(2),所述承托气缸(4)、X定位气缸(8)、Y定位夹紧气缸(16)均固定在该固定板(2)。
3.根据权利要求2所述的石墨舟定位装置,其特征在于:所述承托机构还包括将承托导杆(5)与所述固定板(2)配合的承托轴承(6);所述X夹紧定位机构也包括将定位导杆(9)与所述固定板(2)配合的X直线轴承(14),所述固定环(10)套设在定位导杆(9)与X直线轴承(14)的连接处。
4.根据权利要求1所述的石墨舟定位装置,其特征在于:所述石墨舟定位装置还包括固定在托板(3)上的第一框形板(23)和第二框形板(22),所述承托导杆(5)的一端部固定在第一框形板(23)上,所述定位导杆(9)的一端部固定在第二框形板(22)上。
5.根据权利要求1所述的石墨舟定位装置,其特征在于:所述X夹紧定位机构还包括固定在所述托板(3)上的定位夹紧板(13)。
6.根据权利要求5所述的石墨舟定位装置,其特征在于:所述X夹紧定位机构还包括固定在所述定位夹紧板(13)上的至少一电极感应传感器(12)。
7.根据权利要求1所述的石墨舟定位装置,其特征在于:所述X夹紧定位机构还包括与X定位气缸(8)连接的X压缩弹簧(11);所述Y夹紧定位机构,也包括与Y定位夹紧气缸(16)的Y压缩弹簧(19)。
8.根据权利要求7所述的石墨舟定位装置,其特征在于:所述X夹紧定位机构还包括连接在X压缩弹簧(11)和X定位气缸(8)之间的X连接件(24);所述Y夹紧定位机构还包括连接在Y压缩弹簧(19)和Y定位夹紧气缸(16)之间的Y连接件(20)。
9.根据权利要求8所述的石墨舟定位装置,其特征在于:所述承托机构包括连接在定位导杆(9)一端部的承托连接件(7),所述承托连接件(7)与所述X连接件(24)平行且相邻设置。
10.根据权利要求1所述的石墨舟定位装置,其特征在于:所述石墨舟定位装置还包括还包括检测部分,该检测部分包括多个传感器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳丰盛装备股份有限公司,未经深圳丰盛装备股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520602414.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





