[实用新型]真空镀膜旋转炉架有效
| 申请号： | 201520592725.4 | 申请日： | 2015-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN204874718U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 毛昌海 | 申请（专利权）人： | 艾瑞森表面技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 张芹 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 旋转 | ||
1.真空镀膜旋转炉架，包括驱动装置，所述驱动装置由伺服电机驱动，其特征在于：还包括
第一底座，所述第一底座为圆盘形；
第二底座，所述第二底座与第一底座相连；
行星轮驱动装置，所述行星轮驱动装置与第一底座相连。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜旋转炉架，其特征在于：所述行星轮驱动装置包括：
行星轮模组，所述行星轮模组包括行星轮、行星轮固定座和连接杆，所述行星轮固定座与第一底座相连，行星轮与行星轮固定座相连，连接杆与行星轮连接；
治具模组，所述治具模组包括治具座连接杆、治具座固定座、转轴、链板和链板连接轴，所述治具座连接杆与连接杆相连，治具座固定座与行星轮固定座相连，转轴与治具座固定座相连，链板连接轴与转轴配合，链板与链板连接轴相配合。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜旋转炉架，其特征在于：所述治具模组设有限位螺丝，所述限位螺丝与第二底座相连，限位螺丝与链板相配合。
4.根据权利要求2所述的真空镀膜旋转炉架，其特征在于：所述连接杆顶部圆柱形，圆柱形侧壁设有一通孔，所述治具座连接杆底部设有与连接杆圆柱形相配合的凹槽，连接杆与治具座连接杆通过销钉连接。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜旋转炉架，其特征在于：所述治具模组设有治具底座，所述治具底座中间为方孔形，外部为圆形，治具底座圆周均布方向设有至少一个放置产品的放置孔。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜旋转炉架，其特征在于：所述第一底座与第二底座之间设有保证两者平面度要求的距离限位块。
7.根据权利要求1所述的真空镀膜旋转炉架，其特征在于：还包括驱动齿轮，所述驱动齿轮与行星轮连接，驱动齿轮与第一底座之间安装有平面轴承。
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