[实用新型]环保型硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201520583750.6 | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN204953432U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 何晨旭;孔祥照;朱洁;朱姚培 | 申请（专利权）人： | 江苏荣马新能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/12;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 环保 硅片 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种环保型硅片清洗装置，其特征在于：包括支架、清洗槽、表面开有孔洞的转筒，清洗槽设置在支架上，清洗槽内设有转筒，清洗槽下方设有电机，电机输出端连接转轴，转轴延伸至清洗槽内，转轴与转筒连接，所述转筒内壁上设有若干个硅片存放装置，所述清洗槽上端设有进水管，清洗槽内设有温度传感器、加热装置、超声波发生器，清洗槽外侧设有控制器，温度传感器、加热装置分别与控制器连接，所述清洗槽底部连接出水管，出水管下端连接净化装置，净化装置下端连接排水管。
2.按照权利要求1所述的环保型硅片清洗装置，其特征在于：所述加热装置为加热管。
3.按照权利要求1所述的环保型硅片清洗装置，其特征在于：所述电机为正反转电机。
4.按照权利要求1所述的环保型硅片清洗装置，其特征在于：所述硅片存放装置与转筒内壁卡槽连接。
5.按照权利要求1所述的环保型硅片清洗装置，其特征在于：所述净化装置由上至下依次包括过滤层、分解层、杀菌层。
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