[实用新型]一种电池硅片的在线风刀吹干装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体太阳能电池片生产设备领域，更具体地，涉及一种对制绒或湿法刻蚀后电池硅片进行干燥的在线风刀吹干装置。

背景技术

太阳能电池是通过光电效应或者光化学效应，把光能直接转化为电能的装置。当太阳光照射到半导体上时，其中一部分被表面反射掉，其余部分被半导体吸收或透过；被吸收的光子，有一些变成热，另一些则与组成半导体的原子价电子碰撞，产生电子-空穴对。这样，光能就以产生电子-空穴对的形式转变为电能。

随着地球温室效应的日益严重，石油、天然气、煤炭等资源的日益枯竭，环保节能已成为世界发展的主题。太阳能作为一种储量无限、清洁、安全的可再生能源，是全球新能源的发展方向。在国家新型能源和可再生能源产业政策的指导下、以及欧美太阳能市场强劲需求的带动下，近年来国内太阳能光伏产业得到了飞速发展。目前，中国已经成为太阳能电池制造大国，拥有全球最多的太阳能电池生产厂家和一半以上的产能。

目前，太阳能电池片的生产工艺过程可包括：硅片制绒-扩散-刻蚀及去PSG-PECVD-烧结-印刷等各工序，形成基本的电池片。在这些工艺过程中，硅片需要与一些不同的化学溶液进行适当的化学反应。为了防止上道工序中的化学溶液进入下道工序，需要在每次化学反应后对硅片进行清洗、干燥等操作。特别是在制绒和刻蚀的最后工序中均需要对硅片进行清洗和吹干，以方便后道工序正常进行和硅片收集。

常规的硅片干燥方式可包括甩干(将硅片放置在甩干机中，充满热氮，并甩干硅片)、烘烤(硅片经异丙醇脱水后，放至烘箱烘烤)以及温纯水慢提拉和烘烤(将硅片慢慢从热的热水槽中提出来，同时进行热风烘烤方式干燥硅片)方式。这些干燥方式在产能上受到很大限制，且在工艺性能及机械结构上较复杂，因而逐渐被风刀吹干方式所替代。

不过，现有的风刀吹干装置也存在较明显的不足。现有的风刀吹干装置通常包括上下相对设置的两个风刀，风刀的出风孔一般为单排设置，且其吹风方向垂直于硅片的通过方向；同时，现有的风刀吹干装置的上、下风刀之间的间距通常是固定的。这种风刀的结构设置形式难以快速及彻底地将硅片上的化学溶液吹干净并干燥，且造成了调试及维护的不便。

因此，需要提供一种新型的在线风刀吹干装置，以便快速及彻底地将硅片上的化学溶液吹干净并干燥。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种新的电池硅片的在线风刀吹干装置，用以快速及彻底地将硅片上的化学溶液吹干净并干燥。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种电池硅片的在线风刀吹干装置，用于对制绒或湿法刻蚀后电池硅片进行干燥，包括相对设置的上、下风刀，上、下所述风刀设有由入风口向其相对面的出风口收窄的内部风道，其出风口设有间错排列的第一～第三排风孔，所述风孔连通风道，所述风道连通真空压缩泵；其中，位于中间的第二排风孔的风向朝向硅片通过方向的逆向倾斜设置，位于其两侧的第一、第三排风孔的风向垂直设置，上、下所述风刀在垂直方向的位置可调；

其中，通过向上、下所述风刀收窄的内部风道中通入气体，在所述真空压缩泵的作用下形成加速的增压热风，经所述第一～第三排风孔向垂直及逆向倾斜方向分别吹出，以将由上、下所述风刀之间通过的硅片在线快速吹干。

优选地，所述风刀的内部风道由入风口向出风口方向以内圆弧过渡收窄。

优选地，所述风刀具有与其内部风道对应的圆弧过渡收窄外形。

优选地，所述风孔的孔径为Ф1.1～1.3mm。

优选地，所述第二排风孔的风向与垂直方向的夹角为15～45°。

优选地，上、下所述风刀通过调整支架分别调节其与硅片之间的距离，所述调整支架在所述上风刀的两侧设有升降螺钉，通过转动所述升降螺钉调节与之配合的所述上风刀与硅片上表面之间的距离；所述调整支架在所述下风刀的两侧设有带长槽孔的调整块，通过调整所述长槽孔中的固定螺钉高低位置调节与之配合的所述下风刀与硅片下表面之间的距离。

优选地，所述上风刀与硅片之间的可调距离为不超过15mm；所述下风刀与硅片之间的可调距离为不超过10mm。

优选地，所述风刀为POM材料成型。

优选地，所述风刀的入风口端设有用于密封的风刀盖板，所述风刀与所述风刀盖板之间采用螺纹连接，并通过O型密封圈进行密封。

优选地，所述下风刀前后两侧设有滚轮，用于从上、下所述风刀之间水平输送需干燥的硅片。

本实用新型具有以下优点：