[实用新型]一种电池硅片的在线风刀吹干装置

权利要求书

1.一种电池硅片的在线风刀吹干装置，用于对制绒或湿法刻蚀后电池硅片进行干燥，其特征在于，包括相对设置的上、下风刀，所述上、下风刀设有由入风口向其相对面的出风口收窄的内部风道，其出风口设有间错排列的第一～第三排风孔，所述风孔连通风道，所述风道连通真空压缩泵；其中，位于中间的第二排风孔的风向朝向硅片通过方向的逆向倾斜设置，位于其两侧的第一、第三排风孔的风向垂直设置，上、下所述风刀在垂直方向的位置可调；

其中，通过向上、下所述风刀收窄的内部风道中通入气体，在所述真空压缩泵的作用下形成加速的增压热风，经所述第一～第三排风孔向垂直及逆向倾斜方向分别吹出，以将由上、下所述风刀之间通过的硅片在线快速吹干。

2.根据权利要求1所述的在线风刀吹干装置，其特征在于，所述风刀的内部风道由入风口向出风口方向以内圆弧过渡收窄。

3.根据权利要求2所述的在线风刀吹干装置，其特征在于，所述风刀具有与其内部风道对应的圆弧过渡收窄外形。

4.根据权利要求1所述的在线风刀吹干装置，其特征在于，所述风孔的孔径为Ф1.1～1.3mm。

5.根据权利要求1所述的在线风刀吹干装置，其特征在于，所述第二排风孔的风向与垂直方向的夹角为15～45°。

6.根据权利要求1所述的在线风刀吹干装置，其特征在于，上、下所述风刀通过调整支架分别调节其与硅片之间的距离，所述调整支架在所述上风刀的两侧设有升降螺钉，通过转动所述升降螺钉调节与之配合的所述上风刀与硅片上表面之间的距离；所述调整支架在所述下风刀的两侧设有带长槽孔的调整块，通过调整所述长槽孔中的固定螺钉高低位置调节与之配合的所述下风刀与硅片下表面之间的距离。

7.根据权利要求6所述的在线风刀吹干装置，其特征在于，所述上风刀与硅片之间的可调距离为不超过15mm；所述下风刀与硅片之间的可调距离为不超过10mm。

8.根据权利要求1、2、3、6或7所述的在线风刀吹干装置，其特征在于，所述风刀为POM材料成型。

9.根据权利要求1、2、3、6或7所述的在线风刀吹干装置，其特征在于，所述风刀的入风口端设有用于密封的风刀盖板，所述风刀与所述风刀盖板之间采用螺纹连接，并通过O型密封圈进行密封。

10.根据权利要求1所述的在线风刀吹干装置，其特征在于，所述下风刀前后两侧设有滚轮，用于从上、下所述风刀之间水平输送需干燥的硅片。