[实用新型]一种delta形缺陷地结构有效
| 申请号: | 201520546053.3 | 申请日: | 2015-07-22 |
| 公开(公告)号: | CN204905386U | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
| 发明(设计)人: | 喇东升;贾守卿;马雪莲 | 申请(专利权)人: | 东北大学 |
| 主分类号: | H01P1/20 | 分类号: | H01P1/20;H01P1/203 |
| 代理公司: | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人: | 刘美莲;郭防 |
| 地址: | 110819 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 delta 缺陷 结构 | ||
1.一种delta形缺陷地结构,其特征在于,缺陷地结构的接地板(1)上刻蚀有形缺陷结构;所述的形缺陷结构为形槽,包括A槽线(101)、B槽线(102)、C槽线(103)、D槽线(104)、E槽线(105)、F槽线(106)和G槽线(107),所述的B槽线(102)的两端分别与A槽线(101)和C槽线(103)的一端连接,D槽线(104)的两端分别与E槽线(105)的一端及C槽线(103)的另一端连接,F槽线(106)的两端分别与G槽线(107)的一端及E槽线(105)的另一端连接;所述的A槽线(101)、C槽线(103)、E槽线(105)和G槽线(107)之间相互平行,D槽线(104)分别与B槽线(102)和F槽线(106)平行;所述的B槽线(102)分别与A槽线(101)和C槽线(103)垂直,D槽线(104)分别与C槽线(103)和E槽线(105)垂直,F槽线(106)分别与E槽线(105)和G槽线(107)垂直。
2.根据权利要求1所述的delta形缺陷地结构,其特征在于,所述的A槽线(101)、C槽线(103)和E槽线(105)的长度相同;B槽线(102)和F槽线(106)的长度相同。
3.根据权利要求2所述的delta形缺陷地结构,其特征在于,所述的A槽线(101)与C槽线(103)之间的垂直距离、G槽线(107)的另一端和D槽线(104)之间的垂直距离、C槽线(103)与G槽线(107)之间的垂直距离以及G槽线(107)与E槽线(105)之间的垂直距离均相等。
4.根据权利要求2或3所述的delta形缺陷地结构,其特征在于,所述的A槽线(101)、B槽线(102)、C槽线(103)、D槽线(104)、E槽线(105)、F槽线(106)和G槽线(107)的线宽均相同。
5.根据权利要求4所述的delta形缺陷地结构,其特征在于,所述的线宽为0.5mm,A槽线(101)与C槽线(103)之间的垂直距离、G槽线(107)的另一端和D槽线(104)之间的垂直距离、C槽线(103)与G槽线(107)之间的垂直距离以及G槽线(107)与E槽线(105)之间的垂直距离均为0.5mm,A槽线(101)、C槽线(103)或E槽线(105)的长度为9mm。
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